用于硅片的无去边复合背封层结构及其制造方法与流程

文档序号:11836439阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于硅片的无去边复合背封层结构,其特征在于,包括:

多晶硅背封层,所述多晶硅背封层覆盖在硅片的背面、背面斜边区及边缘区;

二氧化硅背封层,所述二氧化硅背封层覆盖在所述多晶硅背封层的外侧,覆盖了硅片的背面、背面斜边区及边缘区。

2.根据权利要求1所述的用于硅片的无去边复合背封层结构,其特征在于,所述二氧化硅背封层的厚度为0.2微米~1.2微米。

3.根据权利要求1所述的用于硅片的无去边复合背封层结构,其特征在于,所述多晶硅背封层的厚度为0.2微米~1.8微米。

4.根据权利要求1~3所述的用于硅片的无去边复合背封层结构的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:

第一步,在硅片上采用低压化学气相沉积法生长多晶硅背封层,覆盖硅片的背面、背面斜边区、边缘区、正面斜边区及正面;

第二步,在多晶硅背封层的外侧,采用常压化学气相沉积法生长二氧化硅背封层,覆盖硅片的背面、背面斜边区、边缘区及正面斜边区;

第三步,在硅片的正面斜边区域进行边缘抛光,抛除二氧化硅和多晶硅背封层;

第四步,在硅片的正面进行抛光。

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