一种真空腔体盖板的开合机构的制作方法

本发明涉及一种盖板开合机构，具体是一种真空腔体盖板的开合机构，属于半导体薄膜设备的应用技术领域。

背景技术：

在半导体制造的真空腔体中，当腔体盖板关闭时，盖板需要腔体口密封圈贴合，在设备维护时需要盖板可开启一定角度。在盖板关闭后有真空吸附盖板时，盖板在真空吸附力作用下会产生变形，同时密封圈在盖板压力下会产生变形，使盖板产生位移。因此需要发明一种盖板开合机构，既能在盖板闭合时缓冲真空压力，又能支撑盖板使其打开一定角度。

技术实现要素：

为解决上述问题，本发明提供了一种真空腔体盖板的开合机构，实现了盖板在一定角度的开合，当盖板在真空作用下发生变形和位移时，所述机构可以使盖板和真空腔体密封面紧密贴合，当盖板开启时，该机构可提供部分开启盖板所需的开启力。

本发明是这样实现的，一种真空腔体盖板的开合机构，包括撑杆、铰链座、杠杆约束杆a、杠杆约束杆b、杠杆销轴、杠杆、盖板连接件、气体弹簧、盖板和把手；杠杆一端通过杠杆销轴与铰链座连接，铰链座与杠杆销轴连接处的孔为竖直长条孔，杠杆销轴可在长条孔中沿长条孔中心线方向往复移动；杠杆约束杆a两端分别通过销轴与铰链座和杠杆约束杆b连接；杠杆约束杆b两端分别通过销轴与杠杆和杠杆约束杆a连接；气体弹簧两端分别通过销轴与铰链座和杠杆连接；盖板通过盖板连接件与杠杆连接；撑杆一端通过销轴与杠杆连接，另一端连接在真空腔体的边缘。

进一步地，铰链座可通过螺栓与真空腔体固定连接，铰链座上有可与杠杆约束杆a连接的铰链孔。

进一步地，杠杆两端分别有可与铰链座和气体弹簧连接的铰链孔，在这两个铰链孔之间有可与杠杆约束杆b连接的铰链孔。

进一步地，杠杆约束杆a一端通过销轴与铰链座上的铰链孔连接，并可在一定角度范围内自由转动；杠杆约束杆a另一端与杠杆约束杆b通过销轴连接，并可相对杠杆约束杆b在一定角度范围内自由转动。

进一步地，杠杆约束杆b一端通过销轴与杠杆上的铰链孔连接，并可相对杠杆在一定角度范围内自由转动；杠杆约束杆b另一端与杠杆约束杆a通过销轴连接。

进一步地，当盖板开启到一定位置时，撑杆可保持盖板的相对位置不变。

与现有技术相比，本发明的优点在于，所述真空腔体盖板的开合机构可实现真空腔体盖板在一定角度的开启和关闭，当盖板关闭后真空吸附盖板时，所述机构可补偿盖板由真空力作用发生的位移，使盖板密封性加强，减小相关部件的应力；在盖板打开过程中，气体弹簧可提供部分开启盖板所需的开启力，可减轻劳动强度，使盖板固定在一定的位置。

附图说明

图1为本发明真空腔体盖板开合机构的立体结构示意图；

图2为盖板关闭状态真空腔体盖板开合机构的主视结构示意图；

图3为盖板开启状态真空腔体盖板开合机构的主视结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合实施例及附图，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，并不用于限定本发明。

参考图1和图2，该机构包括撑杆1、铰链座2、杠杆约束杆a3、杠杆约束杆b4、杠杆销轴5、杠杆6、盖板连接件7、气体弹簧8、盖板9和把手10；铰链座2可通过螺栓与真空腔体连接固定；铰链座2上有可与杠杆约束杆a3连接的铰链孔；铰链座2与杠杆销轴5连接处的长条孔可使杠杆销轴5在长条孔中沿长条孔中心线方向自由移动；杠杆6两端分别有可与铰链座2和气体弹簧8连接的铰链孔，在这两个铰链孔之间有可与杠杆约束杆b4连接的铰链孔；杠杆约束杆a3两端有铰链孔，可分别通过销轴与铰链座2和杠杆约束杆b4连接；杠杆约束杆b4两端有铰链孔，可分别通过销轴与杠杆6和杠杆约束杆a3连接；

杠杆6一端通过杠杆销轴5与铰链座2连接，铰链座2与杠杆销轴5连接处的孔为长条孔，杠杆约束杆a3两端分别通过销轴与铰链座2和杠杆约束杆b4连接；杠杆约束杆b4两端分别通过销轴与杠杆6和杠杆约束杆a3连接；气体弹簧8两端分别通过销轴与铰链座2和杠杆6连接；盖板9通过盖板连接件7与杠杆6连接；撑杆1一端和杠杆连接，另一端可连接在真空腔体上；把手10连接于盖板9上，提拉把1)手可开启盖板9。当盖板9开启到一定 位置时，撑杆1可保持盖板9的相对位置不变。

参考图2，本发明提供的真空腔体盖板的开合机构，实现了盖板在一定角度的开合，当盖板在真空作用下发生变形和位移时，所述机构可以使盖板和真空腔体密封面紧密贴合；参考图3，当盖板开启时，该机构可提供部分开启盖板所需的开启力。