一种FinFET器件的自加热测量结构及测量方法、电子装置与流程

文档序号:12788120阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种FinFET器件的自加热测量结构,包括:

半导体衬底;

若干行鳍片,位于所述半导体衬底上;

栅极阵列,位于所述鳍片上方并且环绕所述鳍片,其中,所述栅极阵列的延伸方向垂直于所述鳍片的延伸方向,所述栅极阵列包括若干间隔交替设置的栅极和虚拟栅极;

若干行热变阻层,位于所述栅极阵列的上方并且通过导热材料与所述虚拟栅极相连接。

2.根据权利要求1所述的测量结构,其特征在于,所述热变阻层的延伸方向与所述鳍片的延伸方向平行。

3.根据权利要求1所述的测量结构,其特征在于,所述热变阻层设置于相邻所述鳍片之间间隙的上方。

4.根据权利要求1所述的测量结构,其特征在于,所述热变阻层选用金属层。

5.根据权利要求1所述的测量结构,其特征在于,所述热变阻层通过金属通孔与所述虚拟栅极相连接。

6.根据权利要求1所述的测量结构,其特征在于,所述栅极和所述虚拟栅极之间还设置有接触孔。

7.一种基于权利要求1至6之一所述测量结构的测量方法,包括:

步骤S1:断开所述FinFET器件,以使所述栅极处于断路状态,测量所述热变阻层的电阻值R0

步骤S2:打开所述FinFET器件,以使所述栅极处于导通状态,并测量所述热变阻层的电阻值R;

步骤S3:根据所述热变阻层电阻的升高以及电阻温度系数α计算所述热变阻层升高后的温度。

8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,在所述步骤S3中还进一步包括根据所述热变阻层升高后的温度评估所述FinFET器件的自加热情况。

9.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,在所述步骤S3中,根据R=R0[1+α(T-T0)]计算所述热变阻层升高的温度,其中,所述T0为断开所述FinFET器件时所述热变阻层的温度,所述T为打开所述FinFET器件时所述热变阻层的温度。

10.一种电子装置,包括权利要求1至6之一所述的FinFET器件中自加热的测量结构。

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