技术特征：
技术总结
本发明关于一种离子化装置(1)，其包括：等离子体产生装置(4)，在初级等离子体区(9)中产生亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)；场产生装置(13)，在次级等离子体区(10)中产生辉光放电(12)；进气口(2)，将待离子化的气体(3)供应入次级等离子体区(10)；以及另一进气口(5)，将离子化气体(6)的亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)供应入次级等离子体区(10)。本发明还关于一种质谱仪(20)，包含此种离子化装置(1)；以及检测器(17)，其设置于离子化装置(1)的排气口(16)下游，用于该离子化的气体(3a、3a′)的质谱分析。
技术研发人员：M.阿利曼;钟显耀;G.费多森科;R.罗伊特;A.劳厄;A.冯科伊德尔;M.伯克;T.本特;J.温特;P.阿瓦科维茨;L.戈尔霍弗
受保护的技术使用者：卡尔蔡司SMT有限责任公司
技术研发日：2015.12.03
技术公布日：2017.08.01