技术特征：
技术总结
本发明公开一种蚀刻装置及方法，能在挠性膜卷绕于滚筒式夹具的状态下进行蚀刻加工，以及一种利用所述蚀刻方法蚀刻的挠性膜。所述蚀刻装置包括:加工槽，所述加工槽中包括蚀刻剂；滚筒式夹具，可旋转地设置在所述加工槽中，在其上形成有薄膜的挠性膜卷绕于所述滚筒式夹具的状态下，所述滚筒式夹具浸泡于所述蚀刻剂中；以及滚筒式夹具驱动器，配置成用以旋转所述滚筒式夹具。所述蚀刻装置具有简洁的结构，能有效地在形成有薄膜的大面积挠性膜上进行蚀刻加工。
技术研发人员：郑载润;金基秀;曺承旻
受保护的技术使用者：韩华泰科株式会社;郑载润
技术研发日：2016.03.03
技术公布日：2017.08.22