一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构的制造方法与工艺

一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构本申请为申请号201410345490.9、申请日2014年7月18日、发明名称“一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构”的分案申请。技术领域本发明涉及透射电子显微镜的附件结构设计，尤其涉及一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构。

背景技术：
透射电子显微镜TransmissionElectronMicroscope，简称TEM，透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透射聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。针对透射电子显微镜使用过程中拍摄高分辨电子显微图像，拍摄电子衍射以及对样品进行原位分析等不同应用目的使得所使用的CCD相机类型均不同，所以，在一台透射电子显微镜上配备单一CCD相机配置难以满足需要。为解决上述问题，现有的方案是在透射电子显微镜上安装底插式CCD相机和侧插式CCD相机，底插式CCD相机和侧插式CCD相机分别安装在透射电子显微镜的的底片室底部和镜筒侧部。扫描透射电子显微镜ScanningTransmissionElectronMicroscope，简称STEM，其是利用磁透镜将电子束聚焦到样品表面并在样品表面快速扫描，通过电子穿透样品成像。在扫描模式下，电子源发射出电子，通过在样品前磁透镜将电子束会聚成小尺度的束斑，电子束斑聚焦在试样表面后，通过线圈控制逐点扫描样品的一个区域。在每扫描一点的同时，样品下面的STEM探测器同步接收电子。对应于每个扫描位置的探测器接收到的信号转换成电流强度显示在荧光屏或计算机显示器上。使用STEM明场探测器或STEM暗场探测器则可以分别获得STEM明场图像和STEM暗场图像。STEM明场探测器和STEM暗场探测器需要安装在透射电子显微镜镜筒侧部接口。一台透射电子显微镜的费用通常达到几百万人民币，因此，针对一台透射电子显微镜，人们通常需要加装各种附件，以使功能最大化，在现有技术条件下，透射电子显微镜侧部接口数量受到安装位置的限制，在安装了STEM明场探测器和暗场探测器之后，无法安装侧插式CCD相机；安装了侧插式CCD相机之后，则STEM明/暗场探测器只能选装一个，进而导致透射电子显微镜不能达到功能最大化的需求。

技术实现要素：
本发明的目的是针对上述存在的问题，提供一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，以克服现有技术中的透射电子显微镜侧部接口受到安装位置的限制，导致不能实现功能最大化的需求的问题，从而既能够安装侧插式CCD相机，又能够安装STEM明暗探测器，同时还在侧部安装CCD相机用荧光屏，进而满足用户对于透射电子显微镜的功能最大化的需求，实现超值的性价比。为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：。一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，包括：具有侧部接口的镜筒和通过所述侧部接口安装在所述镜筒上的调整部件，所述调整部件为滑动机构或翻转机构，所述调整部件的正视面形状为直角梯形，所述调整部件的一部分位于所述镜筒内部；所述调整部件的正视面的上底与位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰之间的夹角为135°；位于所述镜筒内部的调整部件上集成有TEM荧光屏和STEM探测器；所述TEM荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰面上，所述STEM探测器安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件构的正视面的上底面上或下底面上。于本发明一实施例中，所述调整部件为滑动机构。于本发明一实施例中，所述滑动机构的正视面为直角的一端位于所述镜筒的外部。于本发明一实施例中，所述TEM荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的腰面上，所述STEM探测器安装于位于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的上底面上。于本发明一实施例中，所述调整部件为翻转机构。于本发明一实施例中，所述翻转机构的正视面为直角的一端位于所述镜筒的外部。于本发明一实施例中，所述TEM荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述翻转机构的正视面的腰面上，所述STEM探测器安装于位于所述镜筒内部的所述翻转机构的正视面的下底面上。与现有技术相比，本技术方案的有益效果是：本发明提供的一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，通过在镜筒的侧部接口上安装调整部件，并在位于镜筒内部的调整部件上集成安装TEM荧光屏和STEM探测器，使得只需要改变调整部件在透射电子显微镜镜筒中的位置，便能够实现TEM荧光屏或者STEM探测器来接收电子束，从而满足镜筒的一个侧部接口同时安装CCD相机用荧光屏(TEM荧光屏)和STEM探测器的目的，进而满足用户对于透射电子显微镜的功能最大化的需求，实现超值的性价比。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。图1是本发明实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构待机时的结构示意图。图2是本发明实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于位置A时的结构示意图。图3是本发明实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于位置B时的结构示意图。图4是本发明实施例2提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构待机时的结构示意图。图5是本发明实施例2提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于位置A时的结构示意图。图6是本发明实施例2提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于位置B时的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。实施例1：图1是本发明实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构待机时的结构示意图；图2是本发明实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于位置A时的结构示意图；图3是本发明实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于位置B时的结构示意图；如图所示，本发明实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构包括：具有侧部接口的镜筒101和通过侧部接口安装在镜筒101上的调整部件，在本发明实施例1中，该调整部件为滑动机构102，滑动机构102的正视面形状为一直角梯形，滑动机构102的一部分...