技术总结
本发明提供紧固2个以上主体的装置。基板处理装置，其包括：腔室，其内部具有处理空间；支撑单元，其在上述处理空间支撑基板；以及气体供给单元，其向上述处理空间内供给工艺气体，上述气体供给单元包括：喷头，其与上述支撑单元相对；支撑板，其支撑上述喷头；紧固组件，其紧固上述喷头和上述支撑板，上述紧固组件包括：紧固主体，其形成为包绕上述支撑板的环状，可以以上述支撑板的中心轴为中心进行旋转。因而，本发明的基板处理装置可以迅速执行喷头的装卸。
技术研发人员：韩有东;朴真庆
受保护的技术使用者：细美事有限公司;哈纳新材料有限公司
文档号码：201610421556
技术研发日：2016.06.13
技术公布日：2016.12.28