一种等腰梯形式发光二极管的制备工艺的制作方法

文档序号:11870120阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种等腰梯形式发光二极管的制备工艺,其特征在于:

步骤一、在衬底上生成第一N-GaN层;

步骤二、在第一N-GaN层上形成两个以上的具有等腰梯形截面的光阻层,各光阻层并列且相互独立;

步骤三、在光阻层的两侧蒸镀上DBR阻挡层,使DBR阻挡层在第一N-GaN层上与光阻层形成角度互补;

步骤四、用胶液去掉DBR阻挡层中间的光阻层,使相邻DBR阻挡层之间形成间隙;

步骤五、在第一N-GaN层上方的各个间隙内依次向上依次外延生长第二N-GaN层、有源层以及P-GaN层,所述依次生长的第二N-GaN层、有源层以及P-GaN层与它们两侧的DBR阻挡层形成角度互补;

步骤六、利用ICP刻蚀掉DBR阻挡层;

步骤七、在P-GaN层表面蒸镀一层镜面反射层,在其中一层镜面反射层的中间刻蚀出通孔,该通孔通向P-GaN层;

步骤八、在镜面反射层上蒸镀一层Barrier阻挡层,在具有通孔的镜面反射层上方的Barrier阻挡层也刻蚀出相对于的通孔;

步骤九、在第二N-GaN层、有源层以及P-GaN层的两侧以及Barrier阻挡层上方蒸镀一层保护层,在在通孔上方的保护层刻蚀出一P-Pad空间;

步骤十、在P-Pad空间中蒸镀上P-Pad层,P-Pad层通过通孔与P-GaN层连接,在不具有P-Pad空间的保护层上蒸镀N-Pad层,N-Pad层与第二N一GaN层连接。

2.如权利要求1所述的一种等腰梯形式发光二极管的制备工艺,其特征在于:所述步骤二光阻层的形成方法是:先在第一N-GaN层上形成一层覆盖整个第一N-GaN层光阻,然后采用黄光光刻工艺显影掉无需保留的光阻,剩下并列且相互独立各光阻层。

3.如权利要求1所述的一种等腰梯形式发光二极管的制备工艺,其特征在于:所述保护层为SiNx保护层。

4.如权利要求1所述的一种等腰梯形式发光二极管的制备工艺,其特征在于:所述Barrier阻挡层、保护层、P-Pad层以及N-Pad层均采用CVD蒸镀形成。

5.如权利要求1所述的一种等腰梯形式发光二极管的制备工艺,其特征在于:所述光阻层的等腰梯形截面的倾斜角度为45-60°。

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