一种高磁场下微型潘宁离子源的引出结构的制作方法

文档序号:11869320阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高磁场下微型潘宁离子源的引出结构,包括设置在潘宁离子源的阳极筒(1)侧面上的阳极筒引出缝(4)和靠近所述阳极筒引出缝(4)设置的引出电极(2),所述引出电极(2)上的引出电极缝口(3)对应所述阳极筒引出缝(4),当所述引出电极(2)上加载高频电压后能够通过所述电极缝口(3)将所述阳极筒(1)内的等离子体从所述阳极筒引出缝(4)引出,其特征是:所述阳极筒引出缝(4)设置在所述阳极筒(1)的引出壁(5)上,所述引出壁(5)的厚度小于所述阳极筒(1)的其他位置厚度;所述阳极筒引出缝(4)长6mm-10mm,宽0.5mm,设有特定角度的张角;所述电极缝口(3)长6mm-10mm,宽0.5mm;所述阳极筒引出缝(4)、电极缝口(3)的长度保持一致。

2.如权利要求1所述的引出结构,其特征是:所述张角为30度-45度。

3.如权利要求1所述的引出结构,其特征是:所述引出壁(5)的厚度为0.12mm。

4.如权利要求1所述的引出结构,其特征是:所述阳极筒引出缝(4)与所述电极缝口(3)相距1.5mm。

5.如权利要求1所述的引出结构,其特征是:所述阳极筒(1)采用钨铜合金制作。

6.如权利要求1所述的引出结构,其特征是:所述引出电极(2)采用无氧铜制作。

7.如权利要求1所述的引出结构,其特征是:所述引出电极(2)上加载的所述高频电压为14kV。

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