技术总结
本发明公开了一种晶圆清洗装置和清洗方法，清洗装置包括清洗介质喷淋部分和清洗介质控制部分，清洗介质喷淋部分包括喷嘴、连接喷嘴的可移动喷淋管路，清洗介质控制部分包括与一混合腔室并联的第一、第二管路，混合腔室连接喷淋管路；其中，第一管路在其与混合腔室的接口处具有文丘里管结构，由第一管路通入的液化第一气体，经文丘里管结构喷出至混合腔室，形成固体、液体、气体共存的三相态，并在由第二管路通入的第二气体带动下共同构成清洗介质，沿喷淋管路经喷嘴喷射至待清洗晶圆表面，可实现对晶圆进行无损伤物理清洗，简化清洗工艺，同时可降低生产成本。
技术研发人员：滕宇
受保护的技术使用者：北京七星华创电子股份有限公司
文档号码：201610641216
技术研发日：2016.08.08
技术公布日：2016.12.21