有界栅极的硅控整流器的制作方法

文档序号:13907488阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种有界栅极的硅控整流器,包含基板、N型井区、P型井区、第一和第二N型半导体区、第一和第二P型半导体区、以及第三半导体区。N型井区与P型井区配置于基板之中,第一N型半导体区与第二P型半导体区配置于N型井区之中,且连接至阳极端,第一P型半导体区与第二N型半导体区配置于P型井区之中,且连接至阴极端。第二N型半导体区与第二P型半导体区介于第一N型半导体区与第一P型半导体区之间,第三半导体区介于第二N型半导体区与第二P型半导体区之间。本发明透过将硅控整流器结合栅极结构与深沟渠隔离槽,控制闩锁现象的产生,通过降低阳极端与阴极端之间的等效距离,兼顾硅控整流器于电路设计中闩锁现象的控制与静电防护功能的维持。

技术研发人员:林群祐;柯明道;王文泰
受保护的技术使用者:创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2016.08.31
技术公布日:2018.03.09
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