一种铸锭多晶硅片铝吸杂的方法与流程

文档序号:12275239阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种铸锭多晶硅片铝吸杂的方法,其特征在于,包括如下工艺流程:

(1)清洗:采用标准的RCA液清洗方式清洗铸锭多晶硅片,去除硅片表面的有机颗粒及金属杂质;

(2)真空蒸镀铝层:把清洗过后的多晶硅片放入真空蒸镀设备中进行表面蒸铝,所述的铝层的厚度为1.0~1.5μm;

(3)进炉:将镀铝的多晶硅片放入管式退火炉中,并匀速升温至800~830℃,整个过程在高纯氩气的保护中进行;

(4)第一步退火:当温度升到(3)所要求的温度后进行第一次退火,时间为60~80min;

(5)匀速降至低温:第一步退火结束后,将管式退火炉的温度匀速降至680~750℃;

(6)第二步退火:当温度降至(5)所要求的温度后进行第二次退火,退火时间为60~80min;

(7)降温:第二次退火结束后,将管式退火炉的温度匀速降至室温,然后取出硅片;

(8)除去杂质层:将上述处理后的铸锭多晶硅片浸入80℃的NaOH溶液中以除去铝硅玻璃杂质层,浸泡时间为15~20min。

2.根据权利要求1所述的一种铸锭多晶硅片铝吸杂的方法,其特征在于:步骤(2)中的真空蒸镀设备中的真空度要求不低于7.5×104Pa。

3.根据权利要求1所述的一种铸锭多晶硅片铝吸杂的方法,其特征在于:步骤(3)中的匀速升温速率为5~10℃/min。

4.根据权利要求1所述的一种铸锭多晶硅片铝吸杂的方法,其特征在于:步骤(5)、步骤(7)中的匀速降温速率为5~10℃/min。

5.根据权利要求1所述的一种铸锭多晶硅片铝吸杂的方法,其特征在于:步骤(8)中的NaOH的质量浓度为10%~20%。

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