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半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备与流程
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来源:国知局
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半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备与流程
技术总结
公开了一种半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备。根据实施例,半导体器件可以包括:衬底;依次叠置在衬底上且彼此邻接的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层,其中,第一源/漏层与沟道层之间以及沟道层与第二源/漏层具有由掺杂浓度突变定义的界面;以及绕沟道层的外周形成的栅堆叠。
技术研发人员:
朱慧珑
受保护的技术使用者:
中国科学院微电子研究所
文档号码:
201610872436
技术研发日:
2016.09.30
技术公布日:
2017.01.04
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