半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备与流程

文档序号:12370288阅读:来源:国知局
技术总结
公开了一种半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备。根据实施例,半导体器件可以包括:衬底;依次叠置在衬底上且彼此邻接的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层,其中,第一源/漏层与沟道层之间以及沟道层与第二源/漏层具有由掺杂浓度突变定义的界面;以及绕沟道层的外周形成的栅堆叠。

技术研发人员:朱慧珑
受保护的技术使用者:中国科学院微电子研究所
文档号码:201610872436
技术研发日:2016.09.30
技术公布日:2017.01.04

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