1.一种衬底处理装置，其特征在于，包括：
预腔室，衬底被载送至所述预腔室中；
工艺腔室，与所述预腔室连通，且在所述工艺腔室中执行衬底处理工艺；
衬底舟，包括多个分隔板以分隔装载空间，并进行升降，所述衬底被装载至所述装载空间中；
气体供应单元，用以经由设置于所述工艺腔室中的多个喷射喷嘴将工艺气体供应至所述衬底；
排放单元，用以经由设置于所述工艺腔室中的多个抽吸孔来排放气体；以及
交换引导构件，设置于所述预腔室中并用以将被载送至所述预腔室中的所述衬底放置于经所述多个分隔板分隔的所述装载空间中。
2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述交换引导构件包括：
支撑部件，在所述支撑部件上支撑所述衬底；以及
驱动部件，连接至所述支撑部件以移动所述支撑部件。
3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其特征在于，所述支撑部件在所述支撑部件的在上面支撑所述衬底的端部上包括对齐台阶式部件。
4.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述分隔板中的每一个包括引导狭槽，当所述衬底舟被升降时，所述交换引导构件的至少一部分穿过所述引导狭槽。
5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其特征在于，所述引导狭槽的面积对应所述分隔板的面积的0.1％至10％。
6.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述衬底舟进一步包括用以支撑所述分隔板的连接杆，且
所述连接杆或所述分隔板包括衬底支撑尖端，自所述交换引导构件传送来的所述衬底放置于所述衬底支撑尖端上。
7.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，进一步包括盖板，所述盖板安置于所述衬底舟之下以通过所述衬底舟的上升来阻挡所述预腔室与所述工艺腔室之间的路径。
8.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述预腔室包括门狭缝，所述衬底经由所述门狭缝被载送至所述预腔室中且经由所述门狭缝自所述预腔室中被取出，且
所述交换引导构件安置于与所述门狭缝对应的高度。
9.一种使用衬底处理装置的衬底处理方法，所述衬底处理装置包括：预腔室，衬底被载送至所述预腔室中；工艺腔室，与所述预腔室连通且在所述工艺腔室中执行衬底处理工艺；衬底舟，用于将所述衬底装载于被分隔成多个级的装载空间中；以及多个交换引导构件，用于将所述衬底放置于所述装载空间中，其特征在于，所述衬底处理方法包括：
将所述衬底载送至所述预腔室中；
在所述多个交换引导构件上传送所述衬底；
提起所述衬底舟以将所述衬底放置于所述装载空间中；以及
将所述衬底舟移动至所述工艺腔室。
10.根据权利要求9所述的使用衬底处理装置的衬底处理方法，其特征在于，所述衬底舟包括：
多个分隔板，对所述装载空间进行分隔；以及
多个连接杆，支撑所述多个分隔板，
其中在提起所述衬底舟时，所述衬底放置于在所述多个连接杆中的每一个或所述多个分隔板中的每一个上形成的衬底支撑尖端上。
11.根据权利要求10所述的使用衬底处理装置的衬底处理方法，其特征在于，所述多个分隔板中的每一个包括引导狭槽，所述多个交换引导构件的至少一部分穿过所述引导狭槽，且
在提起所述衬底舟时，所述多个交换引导构件中的每一个通过所述衬底舟的上升而穿过所述引导狭槽。
12.根据权利要求9所述的使用衬底处理装置的衬底处理方法，其特征在于，进一步包括调整所述多个交换引导构件之间的距离。