一种产生辉光放电条纹的装置及方法与流程

文档序号:12129221阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种产生辉光放电条纹的装置及方法,属于辉光放电技术领域。本发明主要解决现有技术存在的结构复杂、稳定性差、电子密度和电子温度呈无规律分布、在应用过程中无选择性的技术问题。本发明的技术方案是:一种产生辉光放电条纹的装置,包括直流电源、阳极、阴极和工作台,其中:还包括辉光放电腔,所述辉光放电腔的一侧壁设置有氩气进气口,所述辉光放电腔的另一侧壁设置有抽真空口和真空度测试仪;所述阳极和阴极的一端穿过辉光放电腔的两侧壁设置在辉光放电腔中,且阳极和阴极一端的端头分别设置有相互平行的板状电极;所述阳极的另一端与直流电源的正极相连,所述阴极的另一端与直流电源的负极和绝缘棒连接,绝缘棒与千分尺连接。

技术研发人员:朱海龙;董有尔
受保护的技术使用者:山西大学
文档号码:201611056746
技术研发日:2016.11.25
技术公布日:2017.03.22

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