一种肖特基结的紫外光电探测器及其制备方法与流程

文档序号:12275225阅读:来源:国知局

技术特征:

1.基于双层或三层氮掺杂石墨烯/二氧化钛纳米管阵列肖特基结的紫外光电探测器,其特征是:以P-型硅基底层(1)作为衬底,在所述P-型硅基底层(1)的上表面沿垂直方向生长有二氧化钛纳米管阵列(2),在所述二氧化钛纳米管阵列(2)的上表面覆盖有绝缘层(3),所述绝缘层(3)的面积为所述二氧化钛纳米管阵列(2)的面积的1/4到1/3,所述绝缘层(3)的边界不超出所述二氧化钛纳米管阵列(2)的边界;在所述绝缘层(3)上覆盖有双层或三层氮掺杂石墨烯(4),所述双层或三层氮掺杂石墨烯(4)一部分与所述绝缘层(3)接触,剩余部分覆盖在所述二氧化钛纳米管阵列(2)上,所述双层或三层氮掺杂石墨烯(4)的边界不超出所述二氧化钛纳米管阵列(2)的边界;在双层或三层氮掺杂石墨烯(4)上设置有金属电极层(5),所述金属电极层(5)与所述双层或三层氮掺杂石墨烯(4)呈欧姆接触,所述金属电极层(5)的边界不超出所述绝缘层(3)的边界。

2.根据权利要求1所述的基于双层或三层氮掺杂石墨烯/二氧化钛纳米管阵列肖特基结的紫外光电探测器,其特征是:所述金属电极层(5)为银浆电极或金浆电极;所述金属电极层(5)的厚度为10~30μm。

3.根据权利要求1所述的基于双层或三层氮掺杂石墨烯/二氧化钛纳米管阵列肖特基结的紫外光电探测器,其特征是:所述P-型硅基底层(1)采用电阻率为0.0002~0.001Ω/cm的P-型重掺杂硅片。

4.根据权利要求1所述的基于双层或三层氮掺杂石墨烯/二氧化钛纳米管阵列肖特基结的紫外光电探测器,其特征是:所述绝缘层(3)为绝缘胶带。

5.根据权利要求1所述的基于双层或三层氮掺杂石墨烯/二氧化钛纳米管阵列肖特基结的紫外光电探测器,其特征是:所述二氧化钛纳米管阵列(2)中各二氧化钛纳米管的直径为200nm~1000nm。

6.一种权利要求1所述的基于双层或三层氮掺杂石墨烯/二氧化钛纳米管阵列肖特基结的紫外光电探测器的制备方法,其特征是按如下步骤进行:

a、取电阻率为0.0002~0.001Ω/cm的P-型重掺杂硅片作为P-型硅基底层(1),在真空管式炉中,在1000℃的温度条件下,以纯度为99.99%~99.999%的氧化锌粉末和纯度为99.9%~99.99%的石墨粉作为原料,在所述P-型硅基底层(1)上制备二氧化钛纳米管阵列(2),自然冷却至室温后,取出生长有二氧化钛纳米管阵列(2)的P-型硅基底层(1);

b、用绝缘胶带作为绝缘层(3)粘贴覆盖步骤a生长的二氧化钛纳米管阵列(2)面积的1/4到1/3;

c、在步骤b所制备的绝缘层(3)上铺设双层或三层氮掺杂石墨烯(4),所述双层或三层氮掺杂石墨烯(4)一部分与所述绝缘层(3)接触,剩余部分覆盖在所述二氧化钛纳米管阵列(2)上,所述双层或三层氮掺杂石墨烯(4)的边界不超出所述二氧化钛纳米管阵列(2)的边界;

d、在双层或三层氮掺杂石墨烯(4)上涂抹金属电极层(5),所述金属电极层(5)的边界不超出所述绝缘层(3)的边界。

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