一种非易失性阻变存储器件及其制备方法与流程

文档序号:12479349阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种非易失性阻变存储器件,包括底电极层铌掺杂钛酸锶NSTO、顶电极层Ta金属以及位于所述底电极和顶电极之间的阻变存储功能层,其特征在于:阻变存储功能层由在底电极上外延生长超薄CeO2薄膜和一层二元金属氧化物HfOx薄膜构成。

2.根据权利要求1所述的一种非易失性阻变存储器件,其特征在于:所述底电极层铌掺杂钛酸锶NSTO同时为器件衬底。

3.权利要求1中所述一种非易失性阻变存储器件的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)NSTO基片清洗,并遮挡部分区域作为底电极;

(2)利用脉冲激光沉积技术在NSTO上外延生长一层超薄CeO2薄膜,厚度为3~5nm,沉积工艺为:沉积前,腔室的真空度为1×10-8Pa;沉积过程中激光脉冲频率1Hz,靶基间距为80mm,沉积过程中的真空度为3×10-8Pa,衬底温度为800℃,激光烧蚀能量为1J·cm-2

(3)利用磁控溅射技术在CeO2薄膜上沉积HfOx薄膜,厚度为10nm~50nm,沉积工艺为:沉积前,腔室真空度为1×10-5Pa;沉积过程中,腔室气压保持在2Pa,氧分压控制在5%,沉积温度25℃,沉积功率60W;

(4)使用掩膜版在HfOx薄膜上形成顶电极图形;

(5)利用磁控溅射技术在HfOx薄膜上沉积Ta金属电极层,厚度为10~500nm,沉积工艺为:沉积前,腔室真空度在2×10-4Pa;沉积过程中,腔室气压保持在1Pa,沉积温度25℃,沉积功率60W。

(6)去除掩膜版,得到阻变存储器件Ta/HfOx/CeO2/NSTO。

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