技术总结
本发明公开了一种有机薄膜晶体管阵列基板及其制造方法。该方法包括：A、提供包括玻璃基板和柔性基板的基板；B、在柔性基板上形成第一金属层，对第一金属层进行图案化处理，以形成源极和漏极；C、在源极上、漏极上以及柔性基板未被源极和漏极覆盖的部分上依次形成有机半导体层、有机绝缘层、第二金属层和刻蚀遮挡层；D、在刻蚀遮挡层上形成图案化光阻构件；E、对第二金属层中和刻蚀遮挡层中未被图案化光阻构件覆盖的部分进行处理，以形成栅极和遮挡构件；F、对有机半导体层中和有机绝缘层中未被栅极和遮挡构件遮挡的部分进行处理，以形成有机半导体构件和有机绝缘构件。本发明能避免采用除金以外的金属的栅极在制造过程中被氧化。
技术研发人员：刘哲
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201611096446
技术研发日：2016.12.02
技术公布日：2017.02.15