一种ON‑CELL用ITO透明导电膜及其制作工艺的制作方法

文档序号:12065515阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种ON-CELL用ITO透明导电膜,其特征在于,所述ON-CELL用ITO透明导电膜包括有A膜层、二氧化硅膜层、ITO膜层,所述A模层为氧化铌膜层与二氧化钛膜层中的任意一种,所述ON-CELL用ITO透明导电膜膜层结构依次为:A膜层、二氧化硅膜层、ITO膜层。

2.一种按照权利要求1所述的ON-CELL用ITO透明导电膜制作工艺,其特征在于,所述ON-CELL用ITO透明导电膜制作工艺包括有如下工艺步骤:

1)将玻璃基板、A靶材、硅靶以及ITO靶材分别安装在镀膜箱体之中,并对镀膜箱体进行抽真空处理,所述A靶材为氧化铌靶材与二氧化钛靶材中的任意一种;

2)将镀膜箱体内部在300~500℃的温度环境下烘烤3~6h,以去除镀膜箱体内部杂质气体;

3)当镀膜箱体内部真空度达到5*10-4pa时,向镀膜箱体内充入纯度为99.99%的氩气与氧气,直至镀膜箱体内部工作压强达到0.1~0.6Pa,镀膜箱体内部ITO靶材所处位置氧气占比为5~10%;

4)在70℃的环境温度下开启A靶材、硅靶与ITO靶材电源,当A靶材、硅靶与ITO靶材的靶材表面分别形成等离子区,在镀膜箱体内进行磁控溅射,通过氩气轰击靶材表面,以在玻璃基板上依次沉积A膜层、二氧化硅膜层、ITO膜层,得到成型面板;所述A膜层为步骤1)所采用的氧化铌靶材与二氧化钛靶材所得到的对应膜层;

5)将完成镀膜后的成型面板置于退火箱体内进行真空冷却退火处理,退火箱体内部安装有冷却板,成型面板置于置于冷却板之上进行退火处理,冷却板温度为8至15℃,退火时间为20至40min。

3.按照权利要求1所述的ON-CELL用ITO透明导电膜制作工艺,其特征在于,所述步骤1)中的ITO靶材内氧化铟和氧化锡的质量比例为90:10。

4.按照权利要求1所述的ON-CELL用ITO透明导电膜制作工艺,其特征在于,所述步骤4)之中,成型面板A膜层厚为8~12nm,二氧化硅膜层厚为20~50nm,ITO膜层厚为110~160nm。

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