1.一种腔室部件，其特征在于，所述腔室部件包括：
主体，所述主体包括第一材料；
设置在所述第一材料上的第二材料，所述第二材料具有限定所述腔室部件的内部表面的暴露的表面；以及
磨损表面，所述磨损表面设置在所述第二材料的所述暴露的表面之下的磨损深度处。
2.如权利要求1所述的部件，其特征在于，所述磨损表面包括第三材料，所述第三材料具有不同于所述第一材料和所述第二材料组分的组分。
3.如权利要求2所述的部件，其特征在于，所述主体包括等离子体腔室的部件。
4.如权利要求3所述的部件，其特征在于，所述第三材料包括多个纳米颗粒，所述纳米颗粒是可检测的以提供所述部件的正性光学的和/或化学的识别。
5.如权利要求2所述的部件，其特征在于，所述磨损表面设置在所述第二材料内。
6.如权利要求2所述的部件，其特征在于，所述第三材料包括纳米颗粒。
7.如权利要求6所述的部件，其特征在于，所述纳米颗粒被分散在大约1％至大约10％的所述磨损表面上。
8.如权利要求6所述的部件，其特征在于，所述纳米颗粒包含无机材料。
9.如权利要求2所述的部件，其特征在于，所述第一材料和所述第二材料是相同的。
10.如权利要求2所述的部件，其特征在于，所述第一材料和所述第二材料是不同的。
11.如权利要求1所述的部件，其特征在于，进一步包括：
多个磨损表面，所述多个磨损表面设置在所述第二材料的表面之下的相应磨损深度处，其中，所述磨损表面各自包括不同于所述第一材料或所述第二材料的第三材料。
12.如权利要求11所述的部件，其特征在于，所述第三材料包括纳米颗粒层。
13.如权利要求12所述的部件，其特征在于，用于每个所述磨损表面的所述纳米颗粒层是相同的。
14.如权利要求12所述的部件，其特征在于，用于每个所述磨损表面的所述纳米颗粒层是不同的。
15.一种腔室部件，其特征在于，所述腔室部件包括：
主体，所述主体包括第一材料和设置在所述第一材料上的第二材料；以及
磨损表面，所述磨损表面设置在所述第二材料内的磨损深度处，所述磨损表面包括多个纳米颗粒，所述纳米颗粒具有不同于所述第一材料和所述第二材料组分的组分。
16.如权利要求15所述的部件，其特征在于，所述主体包括气体分配板、支撑环、聚焦环、支撑主体、对准环或基板支撑件。
17.如权利要求15所述的部件，其特征在于，所述纳米颗粒的所述组分是可检测的以提供所述部件的正性光学的和/或化学的识别。
18.如权利要求15所述的部件，其特征在于，所述第一材料和所述第二材料是不同的。
19.如权利要求15所述的部件，其特征在于，所述纳米颗粒被分散在大约1％至大约10％的所述磨损表面上。
20.如权利要求15所述的部件，其特征在于，所述纳米颗粒包括无机材料。