一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具的制作方法

本实用新型涉及等离子刻蚀技术领域，具体为一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具。

背景技术：

晶体硅太阳能电池片制作工艺通常包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等步骤，刻蚀步骤通常采用等离子刻蚀的方法，去除在扩散过程中硅片边缘形成的扩散磷。在目前的等离子刻蚀操作时，通常是将数百片电池片叠放在一起组成电池片组后再进行刻蚀操作，这需要专用的夹具来把数百片电池片夹紧。

现有的太阳能电池片等离子刻蚀用夹具通常包括二块垫板和数根连杆构成，其中一块垫板与连杆垂直固定，另一块垫板可滑动连接在连杆上，二块垫板相互平行，操作人员把数百片电池片放入二块垫板之间，然后通过调节滑动连接在连杆上的一块垫板，把置于二块垫板之间的数百片电池片夹紧，即可放入等离子刻蚀机对电池片的边缘进行等离子刻蚀。由于电池片的表面比较光滑，当数百片电池片叠放在一起时，电池片之间会相互滑动，现有的太阳能电池片等离子刻蚀用夹具无法对数百片电池片进行定位，操作人员需通过手工把数百片电池片叠放整齐，劳动强度较大，同时，采用手工把数百片电池片叠放无法做到完全整齐，对此我们推出一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具，它操作更简单，工作效率更高，使用效果更好。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具，包括底座和硅片，所述底座的一端固定安装有第一固定板，所述底座的另一端固定安装有第二固定板，所述第一固定板和第二固定板均垂直于底座，所述第二固定板两边的中部安装有固定杆，所述固定杆的另一端固定连接于第一固定板两边的中部，所述第二固定板的中部安装有第一垫板，所述第一固定板和第二固定板的下部各安装有两个第一转轴，所述第一转轴均安装有活动臂，所述活动臂下端的外侧安装有第二转轴，所述第一固定板上的第二转轴和第二固定板上的第二转轴上连接安装有活动杆，所述硅片相邻的两边放置于两根固定杆之间，所述硅片的一角放置于两根活动杆之间，所述第一固定板的中部安装有丝杠，所述丝杠穿过第一固定板延伸到第一固定板的右侧，所述丝杠的右端安装有轴承，所述轴承的右侧固定安装有第二垫板，所述第二垫板连接于硅片。

优选的，所述丝杠的左端安装有转盘及把手。

优选的，所述第一垫板的左侧安装有橡胶垫。

优选的，所述第二垫板的右侧安装有橡胶垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具，先把数百片硅片放在两根固定杆之间，由于硅片为方形结构，且相邻的两个边与两根固定杆接触，硅片底部的角放置于两根活动杆之间，由于活动杆与两边固定板上的活动臂和转轴连接，可使硅片与活动杆完全接触，增加稳定性，既可避免硅片之间互相滑动又可轻松将硅片摆放整齐，然后通过丝杠调节第二垫板将硅片夹紧进行等离子刻蚀工作，该实用新型具有操作更简单，工作效率更高，工作更稳定的效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型第二固定板结构示意图；

图3为本实用新型硅片位置结构示意图；

图4为本实用新型活动杆与活动臂结构示意图。

图中：1底座、2第一固定板、3第二固定板、4固定杆、5第一垫板、6活动杆、7第一转轴、8活动臂、9丝杠、10轴承、11第二垫板、12硅片、13第二转轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具，包括底座1和硅片12，所述底座1的一端固定安装有第一固定板2，所述底座1的另一端固定安装有第二固定板3，所述第一固定板2和第二固定板3均垂直于底座1，所述第二固定板3两边的中部安装有固定杆4，所述固定杆4的另一端固定连接于第一固定板2两边的中部，所述第二固定板3的中部安装有第一垫板5，所述第一垫板5的左侧安装有橡胶垫，所述第一固定板2和第二固定板3的下部各安装有两个第一转轴7，所述第一转轴7均安装有活动臂8，所述活动臂8下端的外侧安装有第二转轴13，所述第一固定板2上的第二转轴13和第二固定板3上的第二转轴3上连接安装有活动杆6，所述硅片12相邻的两边放置于两根固定杆4之间，所述硅片12的一角放置于两根活动杆6之间，所述第一固定板2的中部安装有丝杠9，所述丝杠9穿过第一固定板2延伸到第一固定板2的右侧，所述丝杠9的右端安装有轴承10，所述轴承10的右侧固定安装有第二垫板11，所述第二垫板11连接于硅片12，所述第二垫板11的右侧安装有橡胶垫，所述丝杠9的左端安装有转盘及把手。

工作原理：先把数百片硅片12放在两根固定杆4之间，由于硅片12为方形结构，且硅片12相邻的两个边与两根固定杆4接触，硅片12底部的角放置于两根活动杆6之间，由于活动杆6与第一固定板2和第二固定板3上的活动臂8通过第二转轴13连接，可使硅片12与活动杆6完全接触，增加稳定性，既可避免硅片12之间互相滑动又可轻松将硅片12摆放整齐，然后通过丝杠9调节第二垫板11将硅片12夹紧进行等离子刻蚀工作。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。