1.一种能防止断气的充气系统,其特征在于,能防止断气的充气系统用以对一晶圆容置空间填充气体，所述能防止断气的充气系统包含：
一主进气管路，两端分别定义为一进气端及一出气端；
一气动开关单元，设置于所述主进气管路，且邻近于所述出气端，所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通；
一副进气管路，两端分别与所述主进气管路及所述气动开关单元相连接；以及
一电动开关单元，设置于所述副进气管路，且所述电动开关单元能于一第一通电模式，使所述副进气管路的两端彼此连通，且所述电动开关单元能于所述第一通电模式转换为一断电状态时，保持所述副进气管路两端的彼此连通；所述电动开关单元能于一第二通电模式，使所述副进气管路的两端彼此不相连通，且所述电动开关单元能于由所述第二通电模式转换为所述断电状态时，保持所述副进气管路两端彼此的不相连通；
其中，所述电动开关单元于所述第一通电模式或由所述第一通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体能通过所述副进气管路，而驱动所述气动开关单元，以使所述主进气管路的两端彼此相连通，进而使由所述进气端进入的气体能由所述出气端输出；所述电动开关单元于所述第二通电模式或由所述第二通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体无法通过所述副进气管路而驱动所述气动开关单元，而所述气动开关单元阻断所述主进气管路两端的连通。
2.依据权利要求1所述的能防止断气的充气系统,其特征在于,所述电动开关单元为一双线圈电磁阀，于所述第一通电模式时，所述双线圈电磁阀的一第一线圈通电且一第二线圈未通电；于所述第二通电模式时，所述双线圈电磁阀的所述第一线圈不通电且所述第二线圈通电。
3.依据权利要求2所述的能防止断气的充气系统,其特征在于,所述副进气管路还设置有一压力调节阀，所述压力调节阀能于所述主进气管路进入所述副进气管路中的气体压力低于一预定值时，阻断所述主进气管路与所述副进气管路的连通。
4.依据权利要求3所述的能防止断气的充气系统,其特征在于,所述主进气管路邻近于所述出气端还设置有一流量侦测单元，所述流量侦测单元用以侦测通过所述气动开关单元的气体流量。
5.依据权利要求4所述的能防止断气的充气系统,其特征在于,所述主进气管路邻近于所述出气端还设置有一气体过滤单元，所述气体过滤单元能过滤通过所述气动开关单元的气体中的特定分子。
6.一种晶圆充气系统,其特征在于，所述晶圆充气系统包含：
一供气装置，能选择性地持续输出一气体；
一充气装置，能对一晶圆载具填充所述气体；
一气体填充管路，包含：
一主进气管路，两端分别定义为一进气端及一出气端；
一气动开关单元，设置于所述主进气管路，且邻近于所述出气端，所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通；
一副进气管路，两端分别与所述主进气管路及所述气动开关单元相连接；
一电动开关单元，设置于所述副进气管路，且所述电动开关单元能于一第一通电模式，使所述副进气管路的两端彼此连通，且所述电动开关单元能于所述第一通电模式转换为一断电状态时，保持所述副进气管路两端的彼此连通；所述电动开关单元能于一第二通电模式，使所述副进气管路的两端彼此不相连通，且所述电动开关单元能由所述第二通电模式转换为所述断电状态时，保持所述副进气管路两端彼此的不相连通；
一气体回收管路，连接于所述充气装置，用以回收所述晶圆载具所排出的气体；
其中，所述电动开关单元于所述第一通电模式或由所述第一通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体能通过所述副进气管路，驱动所述气动开关单元，而使所述主进气管路的两端彼此相连通，进而使由所述进气端进入的气体能由所述出气端输出；所述电动开关单元于所述第二通电模式及所述第二通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体无法通过所述副进气管路而驱动所述气动开关单元，而所述气动开关单元阻断所述主进气管路两端的连通。
7.依据权利要求6所述的晶圆充气系统,其特征在于,所述电动开关单元为一双线圈电磁阀，于所述第一通电模式时，所述双线圈电磁阀的一第一线圈通电且一第二线圈未通电；于所述第二通电模式时，所述双线圈电磁阀的所述第一线圈不通电且所述第二线圈通电。
8.依据权利要求7所述的晶圆充气系统,其特征在于,所述主进气管路还设置有一压力阀、一流量侦测单元及一气体过滤单元，所述压力阀能于所述主进气管路中的气体压力低于一预定值时，阻断所述进气端与所述出气端的连通；所述流量侦测单元用以侦测通过所述气动开关单元的气体流量；所述气体过滤单元能用以过滤通过所述气动开关单元的气体中的特定分子；所述副进气管路还设置有一压力调节阀，所述压力调节阀能调整由所述主进气管路进入所述电动开关单元的气体压力。
9.依据权利要求8所述的晶圆充气系统,其特征在于,所述气体回收管路还设置有一湿度侦测单元、一气压侦测单元及一电磁阀；所述湿度侦测单元用以侦测所述气体回收管路中的气体湿度；所述气压侦测单元能侦测所述气体回收管路中的气压压力；所述电磁阀能选择性地阻断所述气体回收管路两端的连通。