一种用于硅片检测的硅片处理装置的制作方法

本实用新型涉及硅片检测技术，具体涉及一种用于硅片检测的硅片处理装置。

背景技术：

少数载流子寿命(简称少子寿命)是半导体晶体硅材料的一项重要参数，它对半导体器件性能、晶体硅太阳能电池的光电转换效率都有重要的影响。当载流子连续产生时，在太阳能电池中，寿命决定了电子和空穴的稳定数量，这些数量决定了器件产生的电压，因此，要求使用的硅材料的晶体硅体少子寿命应该尽可能高。

现有的测试晶体硅体少子寿命的方法主要有化学钝化法，其具体测试方法如下：1 )将经过去损伤层处理后的硅片在常温下用去离子水稀释的氟化氢溶液漂洗，去除表面的自然氧化层；2)将漂洗后的硅片放入透明的塑料袋中；3)将适量的30～50ml碘酒(或琨氢琨 溶液、氟化氢溶液 )倒入塑料袋中，这时塑料袋的钝化液在硅片上涂抹均匀，并驱走附在硅片上的气泡，用塑料封口机将塑料袋密封；4)最后，放在WT-2000(或WT-120)上进行测试。测试之后，需要将附着在硅片表面的碘酒溶液去掉，一般采用无水乙醇溶液进行浸泡，然后利用去离子水冲洗。

由于少子检测步骤多，钝化及清理过程复杂，需要用到的工具较多，转移过程很容易对硅片造成损伤及二次污染。钝化液体多具有轻度的腐蚀性和污染性，没用专门的处理装置的话会造成空气污染，对测试人员的健康造成损害。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供通过在处理箱内设置可抽离的反应盒，提供一种多用途、污染少、使用安全的用于硅片检测的硅片处理装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是，一种用于硅片检测的硅片处理装置，包括有用于盛装处理液的反应盒、用于安装反应盒的处理箱，处理箱由底板、侧板以及盖子构成，侧板上设有开口，反应盒通过开口伸入处理箱内部并可抽离处理箱，反应盒的一面露在处理箱外并将开口堵住使得处理箱内部形成密闭空间，反应盒内设有用于放置硅片的载物架，载物架连接有能够将载物架平稳抬升和下降的升降装置，升降装置安装在处理箱内部，载物架被抬升至最高处后其下端面高出反应盒的上端面，载物架被下降至最低处后其下端面靠近反应盒的盒底，载物架上方均设有喷嘴，喷嘴安装在盖子下端面上，喷嘴连接氮气瓶，喷嘴与氮气瓶之间设有气阀。

反应盒上露出处理箱的一面设有方便推拉的把手。

盖子由透明的钢化玻璃制成。

升降装置包括有位于反应盒两侧的气缸，气缸的活塞连接有支撑板，支撑板固定连接载物架的上端。

载物架由若干个盒状的载物单元拼接而成，载物单元的底部为具由网状结构的网板，载物单元由耐酸碱腐蚀的材料制成。

反应盒底部安装有超声震荡装置或加热装置。

本实用新型的工作原理是：反应盒可以用来盛装硅片抛光液或无水乙醇等处理液，反应盒放置在处理箱内部；硅片放置在网板上，调节气缸使得载物架下降，将硅片浸泡在钝化液中反应；处理完毕后将载物架抬升，打开气阀用干燥的氮气将硅片吹干；需要对反应溶液加热处理时可以开启反应盒内的加热装置加热；反应盒内盛装清洗液时可以开启超声震荡装置进行超声清洗。

本实用新型的有益效果是，本实用新型的硅片处理装置，能够满足硅片检测前期各种腐蚀、钝化、除污等各项处理过程，减少了硅片处理过程的转移次数，提高硅片检测前的处理效果，减少有害液体挥发对实验人员的伤害。

附图说明

图1是本实用新型的外观示意图；

图2是反应盒、载物架及喷嘴的机构示意图；

图3是载物架及喷嘴的另一角度示意图；

图4是处理箱、载物架及喷嘴的示意图。

具体实施方式

现结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1-4所示，一种用于硅片检测的硅片处理装置，包括有用于盛装处理液的反应盒2、用于放置硅片的载物架3、用于安装反应盒2及载物架3的处理箱1，处理箱1由底板4、侧板5以及盖子6构成，侧板5上设有开口7，反应盒2通过开口7伸入出理箱1的内部并能够抽离箱体，反应盒2的一面将开口7堵住使得处理箱1内部形成密闭空间，反应盒2内设有载物架8，载物架8由若干个盒状的载物单元9拼接而成，载物单元9的底部为具由网状结构的网板，载物单元9由耐酸碱腐蚀的材料制成，载物架3连接有能够将载物架3平稳抬升的升降装置，升降装置安装在处理箱1内部，载物架3被抬升至最高处后网板的下端面高出反应盒2的上端面，载物架被下降至最低处后网板的下端面靠近反应盒2的盒底，每个载物单元9的正上方均设有喷嘴10，喷嘴10安装在盖子6下端面上，喷嘴10连接氮气瓶，喷嘴10与氮气瓶之间设有气阀，氮气用来吹干硅片。

反应盒2上设有方便抽取的把手11，方便抽取反应盒2。

盖子6的盖面由透明的钢化玻璃制成，可以从盖子6直接观察硅片的处理情况。

升降装置包括有位于反应盒2两侧的气缸12，气缸12的活塞连接支撑板13，支撑板13固定连接载物架3的上端。还可以采用例如油缸等升降平稳的升降装置代替气缸12。

反应盒2底部安装有超声震荡装置或加热装置。反应盒2可以是多个，分别带有超声震荡装置或加热装置形成超声清洗反应盒或带有加热功能的反应盒。

以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例，应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化，因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。