柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法与流程

本发明涉及柔性显示技术领域，尤其是涉及一种用于柔性显示基板激光剥离工程的连续型制造方式的柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法。

背景技术：

柔性显示器采用柔性材料制成，由于其重量轻、体积小、薄型化，携带方便；耐高低温、耐冲击、抗震能力更强，能适应的工作环境更广；可卷曲，外形更具有艺术设计的美感等优点具有耐冲击、重量轻、携带方便等优点，具有传统显示器不能实现的功能和用户体验的优势，因此柔性显示技术越来越受到人们的重视。

随着柔性显示器制造技术日趋发展成熟，已经可以利用精密涂布制程将耐高温柔性薄膜制作在玻璃基板上，并进行阵列(array)与有机发光层(oled)制程，最后于模组工程(module)再以激光剥离(llo,laserliftoff)与机械分离(mechanicalde-lamination)两道制作工程将柔性显示基板从玻璃基板上剥离取下。

然而，传统的柔性显示基板激光剥离技术在激光剥离过程中，采用单张基板激光剥离工程工艺，生产效率较低，进而提高了设备投资与生产制造成本。

因此，现有柔性显示基板激光剥离方式有待改进和发展。

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供一种柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法，可以实现连续式且高效率的生产。

为实现上述目的，本发明提供了一种柔性显示基板激光剥离装置，用于对待剥离的柔性显示器件进行剥离，所述待剥离的柔性显示器件包括载体基板及形成于所述载体基板上的柔性显示基板；所述装置包括：连续卷对卷的承载膜、真空吸附工作平台以及激光光束；所述承载膜，用于承载并传送所述待剥离的柔性显示器件至所述真空吸附工作平台的对应位置，且所述柔性显示基板贴合所述承载膜；所述真空吸附工作平台设于所述承载膜下方，用于启动真空吸附所述待剥离的柔性显示器件中的所述柔性显示基板；所述激光光束设于所述承载膜上方且对应所述真空吸附工作平台，用于对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离，且所述激光光束与所述承载膜之间的距离大于或等于所述待剥离的柔性显示器件的厚度。

为实现上述目的，本发明还提供了一种柔性显示基板激光剥离方法，采用本发明所述的柔性显示基板激光剥离装置；所述方法包括：将待剥离的柔性显示器件转移贴合到卷对卷的承载膜上，且所述待剥离的柔性显示器件中的柔性显示基板贴合所述承载膜；采用所述承载膜承载并传送所述待剥离的柔性显示器件至真空吸附工作平台的对应位置；采用所述真空吸附工作平台启动真空吸附所述柔性显示基板；采用激光光束对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离。

本发明的优点在于，本发明通过将待剥离的柔性显示器件中柔性显示基板贴合到连续卷对卷的承载膜进行转移，可以实现连续型多张基板生产，生产效率相较于单张基板有效提升。利用承载膜的粘性，将激光剥离后的柔性显示基本与载体基板分离，并将柔性显示基本继续载入下一道的激光切割工程，实现连续式且高效率的生产，进而降低了设备投资与生产制造成本。

附图说明

图1，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离装置的示意图；

图2，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离制造流程图；

图3，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离的细部分离示意图。

图4，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图以及实施例，对本发明提供的柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法作详细说明。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参考图1-2，其中，图1为本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离装置的示意图，图2为本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离制造流程图。

如图1所示，所述装置用于对待剥离的柔性显示器件进行剥离，所述待剥离的柔性显示器件包括载体基板及形成于所述载体基板上的柔性显示基板；所述载体基板可以为玻璃基板。所述装置包括：连续卷对卷(roll-to-roll)的承载膜120、真空吸附工作平台130以及激光光束140。

所述承载膜120，用于承载并传送所述待剥离的柔性显示器件(图1中未示出)至所述真空吸附工作平台130的对应位置，且所述柔性显示基板(图1中未示出)贴合所述承载膜120。如图2中a部分所示，所述待剥离的柔性显示器件中，柔性显示基板202形成于载体基板201上；进入激光剥离工程前，先将待剥离的柔性显示器件180度翻转，使柔性显示基板202位于载体基板201下方。如图2中b部分所示，将翻转后的所述待剥离的柔性显示器件贴合到卷对卷的承载膜120上，且所述柔性显示基板202贴合所述承载膜120；之后由承载膜120承载并传送至所述真空吸附工作平台130的对应位置。承载膜厚度可依载体基板玻璃厚度与重量需求进行选择。连续卷对卷的承载膜120可以用于柔性显示基板激光剥离工程的连续型制造方式，将柔性显示基板贴合到连续卷对卷的承载膜进行转移，可以实现连续型多张基板生产，生产效率相较于单张基板有效提升。

所述真空吸附工作平台130设于所述承载膜120下方，用于启动真空吸附所述待剥离的柔性显示器件中的所述柔性显示基板。如图2中c部分所示，承载膜120将贴合到其上的待剥离的柔性显示器件转移到真空吸附工作平台130的对应位置后，真空吸附工作平台130启动真空将柔性显示基板充分吸附于工作平台，便于使用激光光束140进行柔性显示基板的激光剥离工程。

所述激光光束140设于所述承载膜120上方且对应所述真空吸附工作平台130，用于对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离，且所述激光光束140与所述承载膜120之间的距离大于或等于所述待剥离的柔性显示器件的厚度。所述激光光束140的激光类型包括准分子或固态激光激光。如图2中c部分所示，当待剥离的柔性显示器件的任一部位被传送至真空吸附工作平台130的对应位置后，激光光束140即可向待剥离的柔性显示器件的相应部位发射激光，并直至载体基板与柔性显示基板之间的接触面，从而降低载体基板与柔性显示基板之间的附着力，以达到将柔性显示基板的对应部位从载体基板上剥离的目的。

继续参考图1，所述装置进一步包括：设于所述承载膜120上方的真空吸盘150。所述承载膜120进一步用于承载并传送激光剥离后的柔性显示器件至所述真空吸盘150的对应位置；所述真空吸盘150，用于启动真空吸附所述激光剥离后的柔性显示器件中的所述载体基板(图1中未示出)，将所述载体基板与所述柔性显示基板分离；所述承载膜120还用于传送分离后的所述柔性显示基板(图1中未示出)。

进一步，所述承载膜120上沉积有易离型的胶层(图中未示出)，粘性稳定且容易离型的胶层便于粘住柔性显示器件中的柔性显示基板。利用所述胶层的粘性，所述真空吸盘便于将所述载体基板与所述柔性显示基板分离，以及所述承载膜可以将分离后的所述柔性显示基板传送至下一工序。具体的，当所述承载膜120承载并传送所述激光剥离后的柔性显示器件至所述真空吸盘的对应位置后，利用所述胶层的粘性，通过所述真空吸盘150将所述载体基板与所述柔性显示基板分离，通过所述承载膜120将分离后的所述柔性显示基板传送至下一工序。如图2中d部分所示，完成激光剥离工程后，当所述承载膜120承载并传送激光剥离后的柔性显示器件至真空吸盘的对应位置(图示为承载膜120的末端)后，所述真空吸盘150启动真空吸附所述激光剥离后的柔性显示器件中的载体基板201，利用所述胶层的粘性，将所述载体基板201与所述柔性显示基板202分离，即载体基板201可使用真空吸盘150下料(下料操作可采用现有操作方式，此处不再赘述)；由于所述胶层的粘性，激光剥离后的柔性显示器件中的柔性显示基板202仍然贴合于所述承载膜120上，直至与载体基板201完全分离；承载膜120可以将分离后的所述柔性显示基板202继续载入下一道的激光切割工程。

参考图3，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离的细部分离示意图。如图3所示，由于真空吸盘(图3中未示出)的真空吸附作用，激光剥离后的柔性显示器件中的载体基板201依箭头所示向上运动；而由于承载膜的粘性，激光剥离后的柔性显示器件中的柔性显示基板202仍然贴合于所述承载膜120上；在真空吸盘的真空吸附作用以及承载膜的粘性作用下，柔性显示基板202与载体基板201最终完全分离。承载膜120可以将分离后的所述柔性显示基板202继续载入下一道的激光切割工程。激光切割工程所采用的传送工具310的结构不限于上述卷对卷的承载膜，只要能够对分离后的柔性显示基板正常完成激光切割操作即可。

本发明所述的柔性显示基板激光剥离装置，将待剥离的柔性显示器件中柔性显示基板贴合到连续卷对卷的承载膜进行转移，可以实现连续型多张基板生产，生产效率相较于单张基板有效提升。利用承载膜的粘性，将激光剥离后的柔性显示基本与载体基板分离，并将柔性显示基本继续载入下一道的激光切割工程，实现连续式且高效率的生产。

参考图4，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离方法的流程图。所述方法采用本发明所述的柔性显示基板激光剥离装置；所述方法包括如下步骤：s42：将待剥离的柔性显示器件转移贴合到卷对卷的承载膜上，且所述待剥离的柔性显示器件中的柔性显示基板贴合所述承载膜；s44：采用所述承载膜承载并传送所述待剥离的柔性显示器件至真空吸附工作平台的对应位置；s46：采用所述真空吸附工作平台启动真空吸附所述柔性显示基板；s48：采用激光光束对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离。以下对本发明所述激光剥离方法做详细说明。

关于步骤s42：将待剥离的柔性显示器件转移贴合到卷对卷的承载膜上，且所述待剥离的柔性显示器件中的柔性显示基板贴合所述承载膜，请一并参考图4以及图2中a部分。待剥离的柔性显示器件中，柔性显示基板202形成于载体基板201上；进入激光剥离工程前，先将待剥离的柔性显示器件180度翻转，使柔性显示基板202位于载体基板201下方。所述载体基板201可以为具有刚性的玻璃基板。

关于步骤s44：采用所述承载膜承载并传送所述待剥离的柔性显示器件至真空吸附工作平台的对应位置，请一并参考图4以及图2中b部分。将翻转后的所述待剥离的柔性显示器件贴合到卷对卷的承载膜120上，且所述柔性显示基板202贴合所述承载膜120；之后由承载膜120承载并传送至所述真空吸附工作平台130的对应位置。承载膜厚度可依载体基板玻璃厚度与重量需求进行选择。连续卷对卷的承载膜120可以用于柔性显示基板激光剥离工程的连续型制造方式，将柔性显示基板贴合到连续卷对卷的承载膜进行转移，可以实现连续型多张基板生产，生产效率相较于单张基板有效提升。

关于步骤s46：采用所述真空吸附工作平台启动真空吸附所述柔性显示基板，请一并参考图4以及图2中c部分。承载膜120将贴合到其上的待剥离的柔性显示器件转移到真空吸附工作平台130的对应位置后，真空吸附工作平台130启动真空将柔性显示基板充分吸附于工作平台，便于使用激光光束140进行柔性显示基板的激光剥离工程。

关于步骤s48：采用激光光束对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离，请一并参考图4以及图2中c部分。当待剥离的柔性显示器件的任一部位被传送至真空吸附工作平台130的对应位置后，激光光束140即可向待剥离的柔性显示器件的相应部位发射激光，并直至载体基板与柔性显示基板之间的接触面，从而降低载体基板与柔性显示基板之间的附着力，以达到将柔性显示基板的对应部位从载体基板上剥离的目的。所述激光光束140的激光类型包括准分子或固态激光激光。

所述装置进一步包括真空吸盘，所述真空吸盘设于所述承载膜上方；所述方法进一步包括：s49：采用所述承载膜承载并传送激光剥离后的柔性显示器件至所述真空吸盘的对应位置；采用所述真空吸盘启动真空吸附所述激光剥离后的柔性显示器件中的载体基板，将所述载体基板与所述柔性显示基板分离；采用所述承载膜传送分离后的所述柔性显示基板。

进一步的，所述承载膜上沉积有易离型的胶层；步骤s49进一步包括：当所述承载膜承载并传送所述激光剥离后的柔性显示器件至所述真空吸盘的对应位置后，利用所述胶层的粘性，通过所述真空吸盘将所述载体基板与所述柔性显示基板分离，通过所述承载膜将分离后的所述柔性显示基板传送至下一工序。

关于步骤s49，请一并参考图4以及图2中d部分。完成激光剥离工程后，当所述承载膜120承载并传送激光剥离后的柔性显示器件至真空吸盘的对应位置(图示为承载膜120的末端)后，所述真空吸盘150启动真空吸附所述激光剥离后的柔性显示器件中的载体基板201，利用所述胶层的粘性，将所述载体基板201与所述柔性显示基板202分离，即载体基板201可使用真空吸盘150下料(下料操作可采用现有操作方式，此处不再赘述)；由于所述胶层的粘性，激光剥离后的柔性显示器件中的柔性显示基板202仍然贴合于所述承载膜120上，直至与载体基板201完全分离；承载膜120可以将分离后的所述柔性显示基板202继续载入下一道的激光切割工程。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。