成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法与流程

本发明属于成膜速率检测技术领域，具体涉及一种成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法。

背景技术：

有机发光二极管(oled)显示面板具有可视度大、亮度高、电压需求低、能耗省、响应快、厚度薄、构造简单、重量轻、成本低等优点，故被广泛应用。oled显示面板的性能与其中结构的膜厚密切相关，而许多结构是通过蒸镀工艺制备的，故其膜厚由成膜速率(蒸镀速率)和成膜时间决定。为此，在蒸镀过程中检测成膜速率对保证产品性能十分重要。为检测成膜速率，可在蒸镀腔室中设置可振动的成膜速率传感器，蒸镀时成膜速率传感器上也成膜，随着膜厚增加其振动状况相应变化，故通过振动状况可计算出成膜速率。当成膜速率传感器上的膜厚达到一定值时使用寿命到期，必须更换，但更换过程中无法检测。为减少更换频率，可用挡板和多个成膜速率传感器组成成膜速率检测模组，该挡板有开口，当开口对准某成膜速率传感器时，该成膜速率传感器暴露并可进行检测，其它成膜速率传感器则被挡板遮挡故不成膜；当该成膜速率传感器达到使用寿命后，挡板移动使开口对准另一成膜速率传感器并用其进行检测，如此重复，直到全部成膜速率传感器都达到使用寿命再更换成膜速率检测模组。

以上方法在同一时刻只有一个成膜速率传感器工作，若其因故障等产生错误则无法被发现，导致检测准确率低。若同时用多个成膜速率传感器进行测量，则会加快成膜速率传感器的消耗，降低成膜速率检测模组的使用寿命。

技术实现要素：

本发明至少部分解决现有的成膜速率检测技术检测准确率低的问题，提供一种可在不对使用寿命造成影响的情况下提高检测准确率的成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种成膜速率检测模组，其包括：

多个主传感器，其用于检测其上形成薄膜的速率；

遮蔽各主传感器且具有主开口的主挡板，其能运动以使主开口轮流对应每个主传感器；

辅传感器，其用于检测其上形成薄膜的速率；

遮蔽辅传感器且具有辅开口的辅挡板，其能周期运动，在周期运动过程中辅开口经过对应辅传感器的位置，且辅开口面积与其在一个运动周期中累积扫过面积的比为k，k小于等于1/n，n为主传感器个数。

优选的是，所述主挡板为带有主开口的圆环形板，所述多个主传感器沿圆环形板周向均匀分布。

优选的是，所述辅挡板为有辅开口的圆形板，所述辅传感器设于对应圆形板非圆心的位置。

优选的是，所述主挡板为具有主开口的圆环形板，所述多个主传感器沿圆环形板周向均匀分布；所述辅挡板为有辅开口的圆形板，所述辅传感器设于对应圆形板非圆心的位置；所述圆形板同心的设于所述圆环形板内侧。

优选的是，所述圆形板的半径等于圆环形板的内径。

优选的是，所述辅开口的面积等于其在一个运动周期中累积扫过的面积的1/n。

优选的是，所述成膜速率检测模组还包括：主驱动单元，用于驱动所述主挡板运动；辅驱动单元，用于驱动所述辅挡板匀速的周期运动。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种成膜设备，包括用于成膜的成膜腔室，

所述成膜腔室中设有上述的成膜速率检测模组。

优选的是，所述成膜设备为蒸镀设备。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种成膜速率检测方法，其使用上述的成膜速率检测模组进行，所述成膜速率检测方法包括：

移动主挡板使主开口对应一个主传感器，该主传感器检测得到主成膜速率；同时，使辅挡板匀速的周期运动，辅传感器检测得到辅成膜速率；

判断所述辅成膜速与主成膜速率的比是否等于k，若不等则表示成膜速率检测结果错误。

本发明的成膜速率检测模组中，正在检测的主传感器上不断成膜，而辅传感器上成膜的时间则比主传感器成膜的时间短，且二者呈特定比例k，故在正常情况下，辅传感器检测到的成膜速率(平均成膜速率)与主传感器检测结果的比也应等于k，若不等则表示其中一个传感器出现错误，据此可对检测结果进行验证，提高检测准确性。

同时，由于辅传感器上实际的成膜速率小于等于主传感器的成膜速率的1/n，故其使用寿命应大于等于单个主传感器使用寿命的n倍，因此，当n个轮流工作的主传感器的使用寿命均到期时，辅传感器的使用寿命应正好到期(k＝1/n)或还未到期(k＜1/n)，从而该成膜速率检测模组的整体使用寿命不会降低，没必要频繁更换。

附图说明

图1为本发明的实施例的一种成膜速率检测模组中传感器的分布示意图；

图2为本发明的实施例的一种成膜速率检测模组工作时的结构示意图；

其中，附图标记为：1、主传感器；11、主挡板；111、主开口；2、辅传感器；21、辅挡板；211、辅开口；9、底盘。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

实施例1：

如图1、图2所示，本实施例提供一种成膜速率检测模组。

该成膜速率检测模组可被置于成膜设备的成膜腔室中，以检测该设备的成膜速率，例如检测oled面板上蒸镀结构时的成膜速率(蒸镀速率)。

具体的，该成膜速率检测模组包括：

多个主传感器1，其用于检测其上形成薄膜的速率；

遮蔽各主传感器1且具有主开口111的主挡板11，其能运动以使主开口111轮流对应每个主传感器1；

辅传感器2，其用于检测其上形成薄膜的速率；

遮蔽辅传感器2且具有辅开口211的辅挡板21，其能周期运动，在周期运动过程中辅开口211经过对应辅传感器2的位置，且辅开口211面积与其在一个运动周期中累积扫过面积的比为k，k小于等于1/n，n为主传感器1个数。

本实施例的成膜速率检测模组中包括一个辅传感器2和多个(n个)主传感器1，主传感器1和辅传感器2可分别检测自身上形成薄膜的速率(即成膜速率)，并且均可采用已知的成膜速率传感器。例如，一种可用的成膜速率传感器可产生振动，当其上逐渐成膜时，其振动状况会发生相应变化，因此通过分析振动状况，成膜速率传感器即可获知相应的成膜速率。

其中，如图1所示，为方便搬运等，可将全部的主传感器1和辅传感器2都设于一个底盘9上，在此不再详细描述。

以上多个主传感器1被主挡板11遮蔽，该主挡板11上有主开口111，当该主开口111对应某主传感器1时，成膜材料可通过主开口111沉积到该主传感器1上，该主传感器1可检测到成膜速率，而此时其它主传感器1则被主挡板11的实体部分遮挡而无法成膜，故均不能检测到成膜速率。通过主挡板11的移动，主开口111可轮流对应每个主传感器1，从而使各主传感器1轮流检测。

本实施例的成膜速率检测模组中还设有遮蔽辅传感器2的辅挡板21，与主挡板11类似，辅挡板21上具有辅开口211，当辅开口211处在对应辅传感器2的位置时，辅传感器2可检测成膜速率，而当辅开口211不对应辅传感器2时，辅传感器2则被辅挡板21的实体部分遮挡，不能成膜。

与主挡板11不同，辅挡板21能周期性的运动，故辅开口211也沿一定轨迹周期运动，而其运动轨迹必须经过辅传感器2。而且，辅开口211的面积与其在一个运动周期中扫过的面积的比为k；由此，若辅挡板21匀速运动，则对辅传感器2而言，在一个运动周期中，辅开口211经过其上方的时间与周期时长的比为k，或者说，辅传感器2上能成膜的时间与周期时长比例为k。同时该k应小于等于1/n，即在一个周期中，辅传感器2上能成膜的时间应小于等于周期时长的1/n，例如，假设主传感器1有10个，一个周期时长20秒，则在20秒的时间内，辅传感器2上能成膜的时间(辅开口211扫过辅传感器2的时间)应小于等于2秒，相应的，辅传感器2检测到的该周期内的成膜速率(平均成膜速率)也就应小于等于实际成膜速率的1/10。

可见，本实施例的成膜速率检测模组中，正在检测的主传感器1上不断成膜，而辅传感器2上成膜的时间则比主传感器成膜1的时间短，且二者成特定比例k，故在正常情况下，辅传感器2检测到的成膜速率(平均成膜速率)与主传感器1检测结果的比也应等于k，若不等则表示其中一个传感器出现错误，据此可对检测结果进行验证，提高检测准确性。

同时，由于辅传感器2上实际的成膜速率小于等于主传感器1的成膜速率的1/n，故其使用寿命应大于等于单个主传感器1使用寿命的n倍，因此，当n个轮流工作的主传感器1的使用寿命均到期时，辅传感器2的使用寿命应正好到期(k＝1/n)或还未到期(k＜1/n)，从而该成膜速率检测模组的整体使用寿命不会降低，没必要频繁更换。

优选的，辅开口211的面积等于其在一个运动周期中累积扫过的面积的1/n。

作为最简便的方式，辅开口211的面积可正好等于其在一个运动周期中累积扫过的面积的1/n，从而辅传感器2检测到的成膜速率也正好是主传感器1检测到的成膜速率的1/n，且当全部主传感器1的使用寿命均到期后，辅传感器2的使用寿命也正好到期，可避免浪费。

其中，主传感器1的具体个数(即n的值)可以根据需要确定，但通常其数量不应太少，以保证成膜速率检测模组的整体使用寿命较长，例如，可如图1所示，成膜速率检测模组中具有10个主传感器1。

优选的，主挡板11为具有主开口111的圆环形板，多个主传感器1沿圆环形板周向均匀分布。

如图2所示，主挡板11优选是圆环形板的形式，而各主传感器1沿圆环形板周向均匀分布。这样，当圆环形板绕圆心转动时，即可使主开口111轮流对应各主传感器1，驱动最简便。

优选的，辅挡板21为有辅开口211的圆形板，辅传感器2设于对应圆形板非圆心的位置。

如图2所示，辅挡板21优选是圆形板的形式，而辅传感器2设于距该圆形板圆心r处，从而圆形板每然圆心转动一圈(一个周期)，辅开口211即可经过辅传感器2一次(即完成一个周期)。当然，在距离圆心r处，辅开口211沿周向的尺寸也应小于等于2πr/n(即辅开口211应小于等于1/n个圆周)，以使其面积符合以上的比例要求。

优选的，以上圆形板同心的设于圆环形板内侧。更优选的，圆形板的半径等于圆环形板的内径。

如图2所示，主挡板11和辅挡板21可分别采用以上圆环形板和圆形板的形式，且辅挡板21(辅传感器2)可设于主挡板11(主传感器1)内侧，以节省成膜速率检测模组所占的空间。

进一步的，为避免圆环形板和圆形板间出现空隙，故二者的内侧和外侧边缘优选相接触。当然，虽然圆环形板和圆形板相接触，但二者应是相互独立的，可分别以不同方式运动。

优选的，成膜速率检测模组还包括：主驱动单元，用于驱动主挡板11运动；辅驱动单元，用于驱动辅挡板21匀速的周期运动。

也就是说，可在成膜速率检测模组中设置电机等作为驱动单元，以驱动主挡板11和辅挡板21分别进行各自所需的运动(如绕圆心转动)，由于能驱动挡板移动的器件的方式是多样的，故在此不再对其进行详细描述。

当然，以上驱动单元也可为成膜设备的部件，而成膜速率检测模组在被装到成膜设备中时再与驱动单元连接。

本实施例还提供一种成膜设备，其包括用于成膜的成膜腔室，且成膜腔室中设有上述的成膜速率检测模组。

也就是说，可将成膜速率检测模组设于成膜腔室中，从而形成完整的成膜设备。

当然，应当理解，该成膜速率检测模组的使用寿命较短，故当其使用寿命到期(即全部的主传感器1的使用寿命均到期)后，则可更换新的成膜速率检测模组。

优选的，成膜设备为蒸镀设备。

也就是说，以上成膜设备优选为蒸镀设备，该蒸镀设备优选可用于制备oled面板中的各种结构。

但应当理解，该成膜设备也可为溅射设备、化学气相沉积设备(cvd)等其它任意具有成膜功能的设备。

本实施例还提供一种成膜速率检测方法，其使用上述的成膜速率检测模组进行，该成膜速率检测方法具体包括：

移动主挡板11使主开口111对应一个主传感器1，该主传感器1检测得到主成膜速率；同时，使辅挡板21匀速的周期运动，辅传感器2检测得到辅成膜速率；

判断辅成膜速与主成膜速率的比是否等于k，若不等则表示成膜速率检测结果错误。

也就是说，当使用上述的成膜速率检测模组检测成膜速率时，可使辅传感器2和一个主传感器1同时进行检测，并比较二者检测到的成膜速率是否符合以上k倍的比例关系，若是则表明检测结果正确，若否则表示其中一个传感器产生了错误，可停机进行检查等。

当然，在该主传感器1达到使用寿命后，则可移动主挡板11使主开口111对应另一个主传感器1并继续检测，如此重复，直到所有主传感器1使用寿命均到期，再整体更换成膜速率检测模组。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。