基于纵向结构的发光二极管的制作方法

文档序号:11522085阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种基于纵向结构的发光二极管(10),包括:Si衬底(11);Si、Ge叠层材料形成的PiN台阶结构(13),设置于所述Si衬底(11)表面的中心位置处;正电极(15),设置于所述PiN台阶结构(13)的上表面;负电极(17),设置于所述Si衬底(11)的上表面并位于PiN台阶结构(13)两侧的位置处,以形成纵向结构的所述发光二极管(10)。本发明纵向结构的发光二极管,利用Si衬底与Ge外延层界面特性好的优势,利用N型Si/张应变Ge/P型Ge纵向结构,极大地提高发光二极管的发光效率。

技术研发人员:刘晶晶
受保护的技术使用者:厦门科锐捷半导体科技有限公司
技术研发日:2017.05.17
技术公布日:2017.08.18
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