一种均热板及具有该均热板的微电子器件的制作方法

文档序号:11656121阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种均热板,包括底板、顶板和连接于所述顶板与所述底板之间的侧板,所述顶板、所述底板和所述侧板之间围成密闭空腔,所述密闭空腔内填充有蒸发工质;所述顶板的内表面设置有阵列排布的微米级凸台,所述凸台的侧壁与所述顶板的内表面均为超疏水表面,且所述顶板外接正电压,所述底板接地。本发明还公开了一种包括上述均热板的微电子器件。应用本发明提供的均热板及微电子器件,无需传统吸芯结构,能减少轴向热阻,由于电喷加速液体回流,能有效提高均热板的毛细极限和携带极限,从而提高整体换热能力。

技术研发人员:王长宏;田中轩;郑焕培
受保护的技术使用者:广东工业大学
技术研发日:2017.05.19
技术公布日:2017.07.28
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