一种背接触太阳能电池的制备方法与流程

文档序号:13907583阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种背接触太阳能电池的制备方法。本发明的背接触太阳能电池的制备方法,包括制绒、制备正表面薄掩膜、双面磷扩散、背表面激光开槽、抛光、硼扩散、清洗并制备钝化减反膜、印刷金属电极及烧结。其有益效果是:仅需在高温磷扩散前制备正表面薄掩膜即可一步形成正表面n+轻掺杂区域及背表面n+重掺杂区域;且高温磷扩散的同时形成了能够阻挡硼扩散的正表面磷硅玻璃层及背表面磷硅玻璃层,无需再额外设置介质膜掩膜即可保证硼扩散过程中正表面n+轻掺杂区域和背表面n+重掺杂区域不会受到硼扩散的影响。极大地简化了工艺流程,减少了高温工序数目,节约了生产成本。

技术研发人员:林建伟;李灵芝;季根华;刘勇
受保护的技术使用者:泰州中来光电科技有限公司
技术研发日:2017.09.27
技术公布日:2018.03.09
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