太阳能电池链式设备滚轮装置的制作方法

文档序号:13859187阅读:495来源:国知局
太阳能电池链式设备滚轮装置的制作方法

本实用新型涉及太阳能硅片生产领域,具体是一种太阳能电池链式设备滚轮装置。



背景技术:

现有太阳能电池链式湿法切边设备,如Centrotherm C.Side Inline设备的切边槽体的滚轮结构不合理。在生产过程中滚轮转动轴芯不一致不在同一水平面,导致出现大量不合格半成品,例如黑边片或者硅片刻蚀量不够等。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题是:如何提供一种滚轮结构,减少硅片在刻蚀过程中造成的黑边片或者硅片刻蚀量不够。

本实用新型所采用的技术方案是:太阳能电池链式设备滚轮装置,其特征在于:滚轮安装在刻蚀槽体中,硅片下表面与滚轮接触,刻蚀槽体里刻蚀液的液位在竖直方向上低于硅片下表面1-1.5mm,滚轮表面有宽度为3mm深度为2.2mm的U型螺旋槽。

作为一种优选方式:U型螺旋槽为多个正反螺纹槽交错而成,正螺纹槽与反螺纹槽长度相等,正螺纹槽的长度大于1/2硅片长度小于2/3硅片长度,硅片放置在正螺纹槽与反螺纹槽交错中心的部分。

本实用新型的有益效果是:将太阳能电池链式设备两、三阶滚轮装置更换为表面为螺纹状的滚轮装置,硅片在滚轮上运行更加平稳,提高了设备运行稳定性,降低了设备故障率,大大减少了由于滚轮运行不稳带来的工艺问题以及降低了不合格电池片产品数量,提升了电池片产品合格率。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图;

图2是图1中滚轮的A位置放大示意图;

图3是正反螺纹槽交错示意图。

其中,1、滚轮,2、硅片,3、刻蚀槽体,4、反螺纹,5、正螺纹,6、硅片放置位置。

具体实施方式

如图1-3所示,刻蚀工艺的原理是硅片下表面单面与化学品(刻蚀液)接触进行反应,化学品药液的液位高度略低于硅片下表面,药液通过滚轮螺纹的最高点与硅片下表面接触,再通过药液本身的张力从而吸附到硅片的整个下表面;硅片在运行的过程中其整个下表面与滚轮的螺纹的最高点接触,每一个最高点之间有3mm的缝隙,由于U型螺旋槽为多个正反螺纹槽交错而成,正螺纹槽与反螺纹槽长度相等,正螺纹槽的长度大于1/2硅片长度小于2/3硅片长度,硅片放置在正螺纹槽与反螺纹槽交错中心的部分。利于化学品流动,使硅片背面刻蚀更均匀,这样避免了由于滚轮只有两三个凸起而导致硅片运行过程不稳定,从而消除各种工艺问题以及不合格产品的产生。

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