技术总结
本实用新型公开了一种单片基板湿法制程中腐蚀清洗干燥装置，属于半导体制造、太阳能电池制造及液晶制造技术领域。所述清洗干燥装置包括箱体、上下料装置、基板固定装置、基板喷洗干燥装置、基板旋转装置和药液回收装置，所述箱体的上端具有开口，下端具有药液排出口；所述上下料装置位于所述箱体上，所述基板固定装置设置在所述箱体内，所述基板旋转装置位于所述箱体的下方；所述基板固定装置与基板旋转装置之间采用传动轴连接；所述基板喷洗干燥装置包括基板正面喷洗干燥装置和基板背面喷洗干燥装置；所述药液回收装置位于箱体的下方且与箱体的药液排出口之间采用管道连接。本实用新型能够在保证清洗效果的同时能够对单片基板进行快速清洗。
技术研发人员：耿彪
受保护的技术使用者：北京华林嘉业科技有限公司
文档号码：201720595993
技术研发日：2017.05.25
技术公布日：2017.12.29