在线监测氮化硅膜厚折射率的装置的制作方法

技术总结
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其涉及一种在线监测氮化硅膜厚折射率的装置，本实用新型的在线监测氮化硅膜厚折射率的装置，能够在线实时监测膜厚折射率，实现膜厚折射率有效的管控，减少膜厚折射率异常带来的效率损失，减少颜色分选过程中造成的摩擦痕，节约人工成本，结构简单，操作方便，便于推广和应用。

技术研发人员：杨晴;
受保护的技术使用者：常州亿晶光电科技有限公司;
文档号码：201721113048
技术研发日：2017.08.31
技术公布日：2018.03.16