技术总结
本实用新型公开了一种晶圆片去胶机，包括本体，所述本体侧面设有工件花篮进料口和出料口，所述本体正面设有透视窗，所述本体内设有清洗槽和机械手装置，所述机械手装置自动将工件花篮放入清洗槽内清洗，然后传送到下个清洗槽进行清洗，所述清洗槽包括依次设置的第一水槽、超声药剂槽、第一超声漂洗槽、第一酸槽、第二超声漂洗槽、第二酸槽、快排漂洗槽和第二水槽。本实用新型清洗效果好，清洗速度快，清洁度高，同时无需人手接触，安全可靠，对工件表面无损伤，提高了产品的性能、使用寿命和可靠性，满足产品下一道加工工序的需要，提高了生产效率和产品的外观质量，降低了清洗成本。 1
技术研发人员：李继忠;李述周;朱春
受保护的技术使用者：常州市科沛达超声工程设备有限公司
技术研发日：2017.12.06
技术公布日：2018.06.15