波长可调谐激光器的制作方法

文档序号:21486758发布日期:2020-07-14 17:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.波长可调谐激光器,包括:

增益区;和

波长可调谐区,

其中,所述波长可调谐区包括

下包层;

无源光波导,设置在所述下包层上;

上包层,设置在所述无源光波导上;

驱动电极,设置在所述上包层上;

电流阻挡层,设置在所述驱动电极上;

加热器,设置在所述电流阻挡层上;和

彼此相对设置的第一绝缘槽和第二绝缘槽,并且所述第一绝缘槽和所述第二绝缘槽之间设置有所述无源光波导。

2.根据权利要求1所述的波长可调谐激光器,其中,

所述下包层包括通过所述第一绝缘槽和所述第二绝缘槽之间的连接而形成的突出部;

所述突出部具有第一突出部,所述第一突出部的宽度沿第二方向变窄,其中所述第二方向为所述上包层到所述下包层的方向。

3.根据权利要求2所述的波长可调谐激光器,其中,

所述突出部具有第二突出部,所述第二突出部的宽度沿所述第二方向变宽。

4.根据权利要求3所述的波长可调谐激光器,其中,

所述第二突出部设置在所述第一突出部下方。

5.根据权利要求4所述的波长可调谐激光器,其中,

所述第一突出部的面积大于所述第二突出部的面积。

6.根据权利要求3所述的波长可调谐激光器,其中,

在所述突出部中,具有最大宽度的第一区域与具有最小宽度的第二区域的宽度之比为1:0.1至1:0.5。

7.根据权利要求1所述的波长可调谐激光器,其中,

当通过所述驱动电极输入电流或通过所述加热器输入热量时,所述无源光波导的折射率发生改变。

8.波长可调谐激光器,包括:

增益区;和

波长可调谐区,

其中,所述波长可调谐区包括

下包层;

无源光波导,设置在所述下包层之间;

上包层,设置在所述无源光波导上;

加热器,设置在所述上包层上;和

第一绝缘槽和第二绝缘槽,设置在所述下包层上,

所述第一绝缘槽和第二绝缘槽彼此相对设置,并且在所述第一绝缘槽和所述第二绝缘槽之间设置有所述无源光波导,

所述下包层包括通过所述第一绝缘槽和所述第二绝缘槽之间的连接而形成的突出部,以及

所述突出部的宽度在远离所述无源光波导的方向上变窄。

9.根据权利要求8所述的波长可调谐激光器,其中,所述突出部的第一边缘角的角度为50°至70°。


技术总结
根据实施方式,公开了包括增益区和波长可调谐区的波长可调谐激光器。该波长可调谐区包括:下包层;位于下包层上的无源光波导;位于无源光波导上的上包层;位于上包层上的驱动电极;位于驱动电极上的电流阻挡层;位于电流阻挡层上的加热器;彼此相对设置的第一绝缘槽和第二绝缘槽,并且第一绝缘槽和第二绝缘槽之间设置有无源光波导。

技术研发人员:尹基洪
受保护的技术使用者:光电子学解决方案公司
技术研发日:2017.11.28
技术公布日:2020.07.14
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