一种低导通功耗绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管的制作方法

文档序号:16426656发布日期:2018-12-28 19:49阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及功率半导体技术,特别涉及一种低导通功耗绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管。本发明对传统横向绝缘栅双极型晶体管的阴极区进行了改造,通过隔离氧化层将器件分为MOS区和传统LIGBT结构区,MOS区分为第一NMOS区和第二MOS区,第一NMOS区和第二MOS区共用一个P+源极短路区。传统LIGBT结构区的栅极与第一NMOS的栅极通过金属互联作为本发明器件栅极,第一NMOS的N+漏区通过金属互联与传统LIGBT的N+源区连接,传统LIGBT的P+源区通过金属互联与第二N型MOS的栅极和漏极相连,传统LIGBT的N+源区通过金属互联与第一N型MOS的N+漏区相连,第一和第二NMOS的N+源区及共用的P+源极短路区通过金属短接作为本发明器件的阴极,传统LIGBT结构区的阳极作为本发明器件阳极。

技术研发人员:陈万军;谯彬;夏云;高吴昊;刘超;施宜军;石瑜;左慧玲;邓操
受保护的技术使用者:电子科技大学
技术研发日:2018.08.21
技术公布日:2018.12.28
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