技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于三段式双稳态梁结构的MEMS惯性开关。包括：开关外壳、双稳态机构和开关辅助机构，开关辅助机构和双稳态机构在加速度方向上依次设置在开关外壳内部，开关辅助机构包括弹簧体和第一质量块，双稳态机构包括三段式梁结构和第二质量块，开关外壳在与第二质量块相对位置处设置有开关触点，第一质量块与第二质量块相对设置，第一质量块的质量大于第二质量块的质量，MEMS惯性开关在受到设定加速度时，第一质量块在惯性的作用下，碰撞第二质量块，使第二质量块沿加速度方向运动，双稳态机构由一种稳态到另一种稳态，按压所述开关触点，导通电路。本发明提供的MEMS惯性开关具有灵敏度高、抗电磁干扰能力强和抗机械振动能力强的优势。
技术研发人员：陈余;杨婷婷;李小石;杜亦佳
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院电子工程研究所
技术研发日：2018.09.13
技术公布日：2019.01.18