技术总结
本发明涉及一种柔性储能薄膜的制备方法。所述制备方法包括：提供一柔性金属衬底；以钛金属为靶材，采用磁过滤多弧离子镀方法在所述柔性金属衬底上形成所述二氧化钛预制层，其中，所述磁过滤多弧离子镀方法的工作气氛为含氧保护气体；对带有二氧化钛预制层的柔性金属衬底进行热处理，得到柔性储能薄膜。通过该制备方法不仅实现了储能薄膜的柔性化，同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度，可以用作薄膜电容器的电介质材料。
技术研发人员：冯雪;王志建
受保护的技术使用者：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
技术研发日：2018.07.25
技术公布日：2020.02.07