检测方法、检测设备和计算机可读存储介质与流程

文档序号:18326385发布日期:2019-08-03 11:07阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
公开一种检测方法、检测设备及计算机可读存储介质。一种检测设备包括:图像处理器,被配置为通过对半导体芯片的输入图像进行图像处理,来检测半导体芯片中的裂纹;结果输出单元,被配置为输出由图像处理器检测的结果。图像处理器被配置为:对输入图像执行图像梯度分析,基于执行图像梯度分析获得的结果,通过图像二值化将输入图像转换为二值图像,以与表示出现在二值图像中的形成封闭区域的形状的轮廓的颜色相同的颜色,填充二值图像中的所述封闭区域,从二值图像中提取具有预定性质的形状,通过去除连接到输入图像的边缘部分的形状来检测裂纹。结果输出单元被配置为输出表示输入图像中的裂纹位置的结果图像。

技术研发人员:秋贤镐
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2018.11.06
技术公布日:2019.08.02
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