一种倒片机的制作方法

文档序号:21400712发布日期:2020-07-07 14:33阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种倒片机,其特征在于,包括:

基座(1),所述基座(1)内设置有真空通道(1111);

吸附组件,所述吸附组件设置于所述基座(1)上,并与所述真空通道(1111)连通;及

驱动组件(3),所述驱动组件(3)被配置为能够驱动所述吸附组件转动;

通过将工件(300)放置于所述基座(1)上,以触发所述真空通道(1111)打开。

2.如权利要求1所述的倒片机,其特征在于,所述倒片机还包括:

载物架(200),所述载物架(200)用于承载所述工件(300),当所述载物架(200)被配置于所述基座(1)上时,所述载物架(200)向所述基座(1)施力以触发所述真空通道(1111)打开。

3.如权利要求2所述的倒片机,其特征在于,所述倒片机还包括触发机构,所述触发机构被配置为能够打开或关闭所述真空通道(1111);所述触发机构包括挡块(7),所述挡块(7)可移动地设置在所述基座(1)内且具有复位功能,当所述载物架(200)被配置于所述基座(1)上时,所述挡块(7)由第一位置移动至第二位置,以打开所述真空通道(1111)。

4.如权利要求3所述的倒片机,其特征在于,所述挡块(7)与所述基座(1)滑动连接;

所述基座(1)包括:

底板(11),所述底板(11)内设置有所述真空通道(1111);及

第一立板(12),所述第一立板(12)与所述底板(11)连接;

所述第一立板(12)内设置有第一滑道(1221),所述第一滑道(1221)的底端贯穿所述真空通道(1111),所述挡块(7)滑动设置于所述第一滑道(1221)内。

5.如权利要求4所述的倒片机,其特征在于,所述第一滑道(1221)的上端朝向所述载物架(200)设置有第二滑道,所述第二滑道内滑动设置有具有复位功能的推块(6),当所述载物架(200)被配置于所述基座(1)上时,所述载物架(200)推动所述推块(6)朝向所述第一立板(12)内移动,且所述推块(6)能够推动所述挡块(7)沿所述第一滑道(1221)移动至所述第二位置。

6.如权利要求5所述的倒片机,其特征在于,所述推块(6)的底部设置有第一凹槽(62),所述挡块(7)的顶部能够伸入所述第一凹槽(62)内,且所述推块(6)的底面和所述挡块(7)的顶面均设置有第一导向斜面(73)。

7.如权利要求6所述的倒片机,其特征在于,所述触发机构还包括推力组件,所述推力组件被配置为能够驱动所述载物架(200)推动所述推块(6);所述推力组件包括夹块(4),所述夹块(4)滑动设置于所述基座(1)上,且所述夹块(4)与所述第一立板(12)之间形成夹持所述载物架(200)的空间。

8.如权利要求7所述的倒片机,其特征在于,所述基座(1)还包括:

导杆(14),所述导杆(14)与所述第一立板(12)连接,所述导杆(14)平行所述底板(11)设置,所述夹块(4)滑动设置于所述导杆(14)上;

所述导杆(14)被配置为支撑所述载物架(200)。

9.如权利要求8所述的倒片机,其特征在于,所述推力组件还包括:

顶块(5),所述顶块(5)沿竖直方向滑动设置于所述底板(11)上,且具有复位功能;当所述载物架(200)被配置于所述基座(1)上时,所述载物架(200)下压所述顶块(5),且所述顶块(5)推动所述夹块(4)向靠近所述第一立板(12)的方向移动。

10.如权利要求9所述的倒片机,其特征在于,所述顶块(5)呈u型且开口向上,所述顶块(5)包括第一侧板、基板和第二侧板,所述第一侧板靠近所述第一立板(12)设置,且所述第一侧板被配置为能够抵接于所述载物架(200);

所述第二侧板低于所述第一侧板,所述夹块(4)的底面设置有第二凹槽,所述第二侧板的顶部设置有第二导向斜面。

11.如权利要求10所述的倒片机,其特征在于,所述基座(1)还包括与底板(11)连接的第二立板(13),所述第二立板(13)与所述第一立板(12)相对设置,所述夹块(4)与所述第二立板(13)之间通过第三弹簧(41)连接,所述第三弹簧(41)被配置为能够驱动所述夹块(4)靠近所述第一立板(12)。

12.如权利要求1-11中任一项所述的倒片机,其特征在于,所述吸附组件包括:

真空吸笔(2),所述真空吸笔(2)竖直设置于所述基座(1)上,且所述真空吸笔(2)的顶部设置有吸头,所述吸头的吸附面竖直设置;

所述真空吸笔(2)的重心向所述吸附面一侧平移。

13.如权利要求12所述的倒片机,其特征在于,所述真空吸笔(2)包括竖直设置的主管路以及水平设置的支管路(22),所述主管路和所述支管路(22)连通并呈t字型;

所述基座(1)上设置有与所述真空通道(1111)连通的竖向孔(1112),所述支管路(22)嵌入所述真空通道(1111)内,所述主管路穿过所述竖向孔(1112),所述主管路的外周与所述竖向孔(1112)的侧壁之间具有间隙;

所述支管路(22)的两端分别套设有第五弹簧(23),所述第五弹簧(23)一端与所述主管路抵接,另一端与所述竖向孔(1112)的侧壁抵接。

14.如权利要求13所述的倒片机,其特征在于,所述驱动组件(3)包括:

转轴(31);

主动轮(32),所述主动轮(32)设置于所述转轴(31)上;

从动轮(34),所述从动轮(34)与所述真空吸笔(2)固定;及

传动皮带(33),所述传动皮带(33)连接所述主动轮(32)和所述从动轮(34)。


技术总结
本发明公开了一种倒片机,涉及半导体加工设备技术领域。该倒片机包括:基座、吸附组件及驱动组件,所述基座内设置有真空通道;所述吸附组件设置于所述基座上,并与所述真空通道连通;所述驱动组件被配置为能够驱动所述吸附组件转动;通过将工件放置于所述基座上,以触发所述真空通道打开。该倒片机中工件通过吸附组件吸附后,可以在驱动组件的带动下转动,不需要作业员手动操作,避免工件污染或破损,且能够保证工件每次转动的角度一致。工件放置到基座上后,真空通道自动打开,有利于提高倒片机的自动化以及效率。

技术研发人员:李奕
受保护的技术使用者:苏州能讯高能半导体有限公司
技术研发日:2018.12.27
技术公布日:2020.07.07
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