绝缘栅双极晶体管设备的制作方法

文档序号:16917628发布日期:2019-02-19 19:05阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及绝缘栅双极晶体管(IGBT)设备。所述IGBT设备可包括有源区,无源区,以及沿着所述有源区中的纵向轴线延伸的沟槽。所述IGBT还可包括第一台面和第二台面,所述第一台面限定所述沟槽的第一侧壁并且与所述沟槽平行,所述第二台面限定所述沟槽的第二侧壁并且与所述沟槽平行。所述第一台面的至少一部分可包括所述IGBT设备的有源区段,并且所述第二台面的至少一部分可包括所述IGBT设备的无源区段。

技术研发人员:李孟家;拉尔夫·N·沃尔;刘明焦;沙姆斯·阿列芬·卡恩;戈登·M·格里芙尼亚
受保护的技术使用者:半导体元件工业有限责任公司
技术研发日:2018.07.23
技术公布日:2019.02.19

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