一种直插型硅片插片取片装置的制作方法

文档序号:18090185发布日期:2019-07-06 10:43阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及自动化设备技术领域,公开了一种直插型硅片插片取片装置,其包括包括梳齿组件、升降驱动组件、两置中组件和水平驱动组件;梳齿组件包括两组相互平行并间隔设置的梳齿,梳齿包括若干依次排列的梳齿片,相邻梳齿片之间设有间隔槽,梳齿片的顶部设有夹持槽,夹持槽用于对产品进行夹持,升降驱动组件用于驱动梳齿升降;两置中组件分别设于梳齿组件的两侧,置中组件包括置中板,水平驱动组件用于驱动两置中板分别从两侧向中间运动,将产品置中。实现硅片的置中并排列整齐,便于对其进行插片操作,并通过支撑夹持的方式进行插片和取片,减少了在硅片转移过程中的破损率,同时提高了生产效率。

技术研发人员:张学强;戴军;张建伟;罗银兵
受保护的技术使用者:罗博特科智能科技股份有限公司
技术研发日:2018.11.16
技术公布日:2019.07.05

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