辐射固化型切割用粘合带的制作方法

文档序号:19429853发布日期:2019-12-17 16:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种辐射固化型切割用粘合带,其为在基材片上设置有辐射固化型粘合剂层的辐射固化型粘合带,其特征在于,辐射固化后的拉伸弹性模量与辐射固化前的拉伸弹性模量之比小于1.0。

2.根据权利要求1所述的辐射固化型切割用粘合带,其特征在于,在23℃下测定的所述粘合剂层的辐射固化前的储能模量g′在测定频率为0.1hz~10hz的整个范围内为1.8×104pa~4.0×104pa。

3.根据权利要求1或2所述的辐射固化型切割用粘合带,其特征在于,所述粘合剂层的辐射固化前的损耗系数tanδ为0.25以上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的辐射固化型切割用粘合带,其特征在于,在切割半导体晶片时使用。

5.根据权利要求4所述的辐射固化型切割用粘合带,其特征在于,所述半导体晶片在贴合于所述粘合剂层的面上具有突起物或高度差。


技术总结
本发明提供一种辐射固化型切割用粘合带,其即使对于设置有贯通电极的半导体芯片等也能够在拾取工序中容易地进行拾取而不产生残胶。本发明的辐射固化型切割用粘合带1是在基材片2上设置有辐射固化型粘合剂层3的辐射固化型粘合带1,其特征在于,辐射固化后的拉伸弹性模量与辐射固化前的拉伸弹性模量之比小于1.0。

技术研发人员:大田乡史
受保护的技术使用者:古河电气工业株式会社
技术研发日:2018.12.25
技术公布日:2019.12.17
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