对准装置的制作方法

本发明涉及一种对准(alignment)包括半导体芯片等基板的处理对象的对准装置。

背景技术：

一般而言，对于半导体制造工艺，在将半导体芯片运送至规定的位置的情况下，该芯片必须以一定的方向而进行对准(alignment)。该半导体芯片的结晶按一定方向成长，按各个制造工艺，对于芯片结晶成长方向视为进行既定对准并执行作业。因此，在半导体芯片制造工艺中，必须执行对准半导体芯片的作业。

近来，随着半导体芯片、光掩膜及lcd等半导体组件的表面结构高集成化，使用于此的图案更精细化，在执行对于芯片等处理对象的对准时，由处理对象的原位置滑脱而成为处理对象的损伤的原因。

因此，要求对半导体芯片等处理对象的更精密且稳定的对准。

技术实现要素：

本发明用于提供精密对准处理对象的对准装置。

并且，本发明用于提供稳定对准处理对象的对准装置。

本发明要解决的课题并非限定于上述课题，未言及的课题由本说明书及附图而使本发明的所属技术领域的普通技术人员明确理解。

本发明提供对准形成有槽口部的处理对象的对准装置。本发明的一实施例的对准装置包括：支撑部件，供放置处理对象；驱动部，旋转所述支撑部件；推动部件，向放置在所述支撑部件上的处理对象的侧面施加力，将所述处理对象移动至所述支撑部件上的原位置；槽口部感应部，感应所述处理对象的槽口部是否处于既定位置；控制部，控制所述驱动部，以使旋转所述支撑部件而将所述处理对象的槽口部处于所述一定位置。

所述推动部件包括：旋转部件，能够在第一位置及第二位置之间移动，提供为能够以上下方向的旋转轴为中心而进行旋转的旋转体形状，所述第一位置是指所述旋转部件的侧面与在处于所述支撑部件上的原位置的所述处理对象的侧面接触的位置，所述第二位置是指所述旋转部件的侧面由处于所述支撑部件上的原位置的所述处理对象的侧面分隔一定距离的位置。

所述推动部件还包括：旋转支撑部，一端结合有所述旋转部件，以另一端为中心而以水平方向进行旋转。

多个所述推动部件相互分隔，而环绕所述支撑部件。

所述控制部控制所述驱动部，以使在所述推动部件处于所述第一位置的状态下，旋转所述支撑部件而使所述处理对象的槽口部处于所述一定位置。

所述对准装置还包括：高度感应部，感应所述处理对象的一部分区域是否处于距离所述支撑部件的上面一定高度以上。

所述高度感应部包括：激光传感器，所述激光传感器包括：发光部，发出激光；受光部，接受由所述发光部发出的激光，所述发光部及所述受光部将所述支撑部件设置于之间而提供。

所述激光传感器，在俯视时，包括：第一激光传感器及第二激光传感器，由各个发光部发出的激光在所述支撑部件上相互交叉。

所述处理对象包括：肋骨框架；双面泡棉胶带，固定于所述肋骨框架的内侧面；芯片，附着于所述双面泡棉胶带的上面。

所述槽口部沿着所述处理对象的圆周而提供为多个，槽口部感应部与各个所述槽口部对应而提供。

所述槽口部感应部提供为以激光按上下方向贯通而经过所述槽口部的激光传感器。

在所述肋骨框架的侧面，在俯视时，所述槽口部之间形成有以直线切断的边缘部，所述边缘部还包括：边缘部感应部，以检测是否处于一定位置上。

所述边缘部感应部以作为激光传感器提供，以激光经过由所述边缘部分隔一定距离以内的一定位置而提供。

所述对准装置还包括：旋转驱动部，旋转所述推动部件，所述推动部件包括：第一推动部件及第二推动部件，所述另一端以相对的方式邻接，所述旋转驱动部，包括：第一气缸，在俯视时，活塞向所述第一推动部件的所述另一端及所述第二推动部件的所述另一端之间而沿着垂直于所述第一推动部件及所述第二推动部件排列的方向进行直线运动；第一曲轴部件，在俯视时，形成有长度方向以与所述活塞的移动方向垂直的方向提供的导槽，且与所述活塞连接；第一连接轴，一端沿着所述导槽移动，另一端与所述第一推动部件的所述另一端连接；第二连接轴，一端沿着所述导槽移动，另一端与所述第二推动部件的所述另一端连接；空气供应排出部，将空气供应至第一气缸及排出。

所述推动部件还包括：第三推动部件及第四推动部件，所述另一端相互以相对的方式邻接，所述旋转驱动部包括：第二气缸，在俯视时，活塞朝所述第三推动部件的所述另一端及所述第四推动部件的所述另一端之间而沿着垂直于所述第三推动部件及所述第四推动部件排列的方向进行直线运动；第二曲轴部件，在俯视时，形成有长度方向以与所述第二气缸的活塞的移动方向垂直的方向提供的导槽，一端与所述活塞连接；第三连接轴，一端沿着所述第二曲轴部件的所述导槽移动，另一端与所述第三推动部件的所述另一端连接；第四连接轴，一端沿着所述第二曲轴部件的所述导槽移动，另一端与所述第四推动部件的所述另一端连接，所述空气供应排出部将空气供应至所述第一气缸及所述第二气缸及排出，以使所述第一推动部件、所述第二推动部件、所述第三推动部件及所述第四推动部件相互以相同的方向移动至第一位置及第二位置之间。

本发明的一实施例的对准装置能够精密对准处理对象。

并且，本发明的一实施例的对准装置能够稳定对准处理对象。

附图说明

图1为显示通过本发明的对准装置而对准的处理对象的一例的立体图；

图2为显示本发明的一实施例的对准装置的立体图；

图3为简要显示图2的支撑部件、驱动部、槽口部感应部及边缘部感应部的附图；

图4为显示图1的支撑部件的立体图；

图5为显示图2的推动部件的立体图；

图6为显示图2的推动部件处于第一位置的状态的平面图；

图7为显示图2的推动部件处于第二位置的状态的平面图；

图8为简要显示图2的推动部件及旋转其的旋转驱动部的一例的平面图；

图9为显示对于在图2的推动部件中的一个的上部挂有处理对象的情况，高度感应部进行感应的一例的附图。

附图标记说明

100：对准装置200：处理对象

201：槽口部202：边缘部

210：肋骨框架220：双面泡棉胶带

230：基板1000：支撑部件

2000：驱动部3000：推动部件

3001：第一推动部件3002：第二推动部件

3003：第三推动部件3004：第四推动部件

3100：旋转部件3200：旋转支撑部

4000：旋转驱动部5000：槽口部感应部

6000：高度感应部7000：边缘部感应部

8000：控制部

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施例进行更具体说明。本发明的实施例能够变形为各种形式，本发明的范围并非以限定于下面的实施例而进行解释。本实施例以用于向本领域的技术人员更完整说明本发明而提供。因此，附图中的要素的形状用于强调更明确的说明而进行了夸张。

图1为显示通过本发明的对准装置100而对准的处理对象200的一例的立体图。参照图1，本发明的实施例的对准装置100为对准处理对象200的装置。处理对象200在边缘区域形成有由侧面向内侧凹蚀的槽口部201。根据一实施例，处理对象200包括：肋骨框架210、双面泡棉胶带220及基板230。基板230如图1显示所示，附着于在肋骨框架210的内侧面固定的双面泡棉胶带220的上面。基板230为半导体芯片。肋骨框架210被提供为具有比基板230大的半径的环状。肋骨框架210由不锈钢(stainless)或奥氏体不锈钢(sus)材质提供。双面泡棉胶带220为厚度较薄的薄膜，因薄膜本身难以支撑基板230，因而固定于肋骨框架210。肋骨框架210具有比基板230大的半径，在俯视时，在肋骨框架210与基板230之间区域上双面泡棉胶带220向外部裸露。

图2为显示本发明的一实施例的对准装置100的立体图。图3为简要显示图2的支撑部件1000、驱动部2000、槽口部感应部5000及边缘部感应部7000的附图。参照图2及图3，根据一实施例，对准装置100包括：支撑部件1000、驱动部2000、推动部件3000、旋转驱动部4000、槽口部感应部5000、高度感应部6000、边缘部感应部7000及控制部8000。

图4为显示图1的支撑部件1000的立体图。参照图2至图4，处理对象200被放置于支撑部件1000。支撑部件1000的下面说明的槽口部感应部5000的激光传感器的激光贯通槽口部201而以上下方向经过，边缘部感应部7000的激光传感器的激光经过距离边缘部202分隔一定距离的一定的位置。根据一实施例，槽口部感应部5000及边缘部感应部7000的各个发光部5100、7100及受光部5200、7200中的一个提供至支撑部件1000的上面，另一个提供至支撑部件1000的下面，支撑部件1000提供为切断与槽口部201及边缘部202对应的区域的形状。支撑部件1000的被切断的所述区域根据槽口部201的位置及数量与根据边缘部202的位置及数量而以不同的位置及数量提供。支撑部件1000根据驱动部2000旋转。与此不同，对于支撑部件1000的整个方向的直径提供为比处理对象200的槽口部201及边缘部202的最短的直径短的情况，所述切断的区域未予提供。并且，在支撑部件1000的上面向下凹蚀一部分区域1200，以移动运送处理对象200的运送单元的手柄。此情况，处理对象200被支撑于除了支撑部件1000的上面的凹蚀的区域1200之外的区域1100。

图5为显示图2的推动部件3000的立体图。图6为显示图2的推动部件3000处于第一位置的状态的平面图。图7为显示图2的推动部件3000处于第二位置的状态的平面图。参照图5至图7，推动部件3000向放置在支撑部件1000上的处理对象200的侧面施加力而将处理对象200移动至支撑部件上的原位置。根据一实施例，推动部件3000包括旋转部件3100及旋转支撑部3200。

旋转部件3100形成为将上下方向构成为旋转轴，并以所述旋转轴为中心而旋转的旋转体形状。根据一实施例，旋转部件3100提供为长度方向为上下方向的圆柱形状。旋转部件3100能够移动至第一位置及第二位置之间。第一位置为旋转部件3100的侧面与在处于支撑部件1000上的原位置的处理对象200的侧面接触的位置。第二位置为旋转部件3100的侧面距离在支撑部件1000上处于原位置的处理对象200的侧面分隔一定距离的位置。

旋转支撑部3200以旋转部件3100可旋转的方式结合于一端，将另一端为中心而沿着水平方向，旋转部件3100以移动至第一位置及第二位置之间的方式进行旋转的方式提供。

即，对于旋转部件3100处于第二位置的情况，确保处理对象200容易安装在支撑部件1000上的空间。并且，在处理对象200安装在支撑部件1000上之后，旋转部件3100由第二位置移动至第一位置，将由支撑部件1000上的原位置错开的处理对象200移动至原位置。.

多个推动部件3000相互分隔而环绕支撑部件1000。根据一实施例，推动部件3000包括：第一推动部件3001、第二推动部件3002、第三推动部件3003及第四推动部件3004。第一推动部件3001及第二推动部件3002以成为旋转轴的另一端相对的方式邻接。第三推动部件3003及第四推动部件3004以成为旋转轴的另一端相对的方式邻接。第一推动部件3001及第二推动部件3002、第三推动部件3003及第四推动部件3004将支撑部件1000设于之间，而提供为对称的形状。与此不同，推动部件3000按需而提供为各种数量。

图8为简要显示图2的推动部件3000及旋转其的旋转驱动部4000的一例的附图。参照图8，旋转驱动部4000旋转推动部件3000。根据一实施例，旋转驱动部4000包括：第一气缸4100、第一曲轴部件4200、第一连接轴4300、第二连接轴4400及空气供应排出部4500。

第一气缸4100，在俯视时，活塞4110朝向成为第一推动部件3001的旋转轴的另一端及成为第二推动部件3002的旋转轴的另一端之间，而沿着垂直于第一推动部件3001及第二推动部件3002排列的方向的方向进行直线运动。

第一曲轴部件4200，在俯视时，形成有长度方向以与第一气缸4100的活塞4110的移动方向垂直的方向提供的导槽4210，一端与第一气缸4100的活塞4110连接。

第一连接轴4300以一端沿着第一曲轴部件4200的导槽4210移动，另一端与成为第一推动部件3001的旋转轴的另一端连接。

第二连接轴4400以一端沿着第一曲轴部件4200的导槽4210移动，另一端以与成为第二推动部件3002的旋转轴的另一端连接。

空气供应排出部4500将空气供应至第一气缸4100及排出。第一气缸4100的活塞4110根据空气供应排出部4500的空气供应及排出而做直线移动。

如上所示，在根据活塞4110的直线运动，第一曲轴部件4200进行直线运动时，第一连接轴4300及第二连接轴4400的各自另一端沿着导槽4210移动，第一连接轴4300及第二连接轴4400进行旋转，由此，第一推动部件3001及第二推动部件3002在第一位置及第二位置之间旋转。

根据一实施例，旋转驱动部4000还包括：第二气缸4600、第二曲轴部件4700、第三连接轴4800及第四连接轴4900。

第二气缸4600，在俯视时，活塞4610朝向成为第三推动部件3003的旋转轴的另一端及成为第四推动部件3004的旋转轴的另一端之间，沿着与第三推动部件3003及第四推动部件3004排列的方向垂直的方向进行直线运动。

第二曲轴部件4700，在俯视时，形成有长度方向以与第二气缸4600的活塞4610的移动方向垂直的方向提供的导槽4710，一端与第二气缸4600的活塞4610连接。

第三连接轴4800的一端沿着第二曲轴部件4700的导槽4710移动，另一端与成为第三推动部件3003的旋转轴的另一端连接。

第四连接轴4900的一端沿着第二曲轴部件4700的导槽4710移动，另一端与成为第四推动部件3004的旋转轴的另一端连接。

空气供应排出部4500将空气供应至第一气缸及第二气缸及排出，以使第一推动部件3001、第二推动部件3002、第三推动部件3003及第四推动部件3004以相同的方向移动至第一位置及第二位置之间。根据一实施例，空气供应排出部4500将空气供应至第一气缸4100及第二气缸4600及排出，以使第一气缸4100的活塞4110及第二气缸4600的活塞4610相互同时向内侧方向及外侧方向移动。根据一实施例，空气供应排出部4500根据控制部8000的控制而确定空气的供应及排出。

如上所示，液体的压力在一个密封的容器内与位置无关而保持一定，通过借助空气供应排出部4500而进行空气供应及排出，相同的力同时作用于第一推动部件3001、第二推动部件3002、第三推动部件3003及第四推动部件3004，由此，各个第一推动部件3001、第二推动部件3002、第三推动部件3003及第四推动部件3004对处理对象200产生影响的力不均衡，能够防止处理对象200由支撑部件1000滑脱。尤其，对于支撑部件1000比处理对象200直径小的情况，如下面说明的情况不同，对于各个第一推动部件3001、第二推动部件3002、第三推动部件3003及第四推动部件3004的力不均衡的情况，因第一推动部件3001、第二推动部件3002、第三推动部件3003及第四推动部件3004中的一部分向支撑部件1000的中心方向过度移动，由此，处理对象200由支撑部件1000滑脱的可能性高。

与此不同，除了支撑部件1000的上述的切断的区域之外的直径与除了提供有处理对象200的槽口部201及边缘部202的区域之外的区域的直径相同，旋转部件3100的下部区域与支撑部件1000的侧面相对，上部区域与处理对象200的侧面相对。此情况，各个旋转部件3100以侧面与支撑部件1000的侧面接触的位置相比，无法移动至支撑部件1000的中心方向，各个第一推动部件3001、第二推动部件3002、第三推动部件3003及第四推动部件3004的过度的移动或力的不均衡而防止发生处理对象200由支撑部件1000滑脱的情况。

与上所述不同，旋转驱动部4000根据推动部件3000的数量及排列形状而提供为将推动部件3000移动至第一位置及第二位置之间的各种构成及结构。

再次参照图6及图7，槽口部感应部5000感应处理对象200的槽口部201是否处于一定位置。根据一实施例，槽口部201沿着肋骨框架210的圆周而提供为多个。槽口部感应部5000提供为多个，以与各个槽口部相对。例如，各个槽口部感应部5000提供为激光以上下方向贯通各个槽口部的激光传感器。此情况，对于由槽口部感应部5000的发光部5100发出的激光到达受光部的情况，判断处理对象200处于原位置，对于由槽口部感应部5000的发光部5100发出的激光未到达受光部的情况，判断为处理对象200由原位置错开的情况。

高度感应部6000感应处理对象200的一部分区域是否由支撑部件1000的上面处于一定高度以上。根据一实施例，高度感应部6000包括：激光传感器6100、6200。激光传感器6100、6200包括：发光部6110、6210及受光部6120、6220。

发光部6110、6210发出激光(laser)。受光部6120、6220接收由发光部6110、6210发出的激光。发光部6110、6210及受光部6120、6220将支撑部件1000设于之间。根据一实施例，激光传感器6100、6200包括：第一激光传感器6100及第二激光传感器6200。第一激光传感器6100及第二激光传感器6200，在俯视时，由各个发光部6110、6210发出的激光在支撑部件上相互交叉提供。

图9为显示对于在图2的推动部件3000中一个的上部挂卡处理对象200的情况，检测高度感应部6000的一例的附图。参照图9，发光部6110、6210照射激光，以使激光经过比推动部件3000的上端高出一定高度的位置。因此，在处理对象200放置于支撑部件1000上时，对于由原位置过度扭曲或处理对象200的一侧部经过推动部件3000的上端的情况，推动部件3000的激光与处理对象200的所述一侧部干扰，而检测处理对象200的位置发生扭曲的情况。

再次参照图1至图3，根据一实施例，在肋骨框架210的侧面上，在俯视时，形成有侧部以直线的方式被切断的形状的边缘部202。边缘部感应部7000检测边缘部202是否处于一定位置。例如，边缘部感应部7000提供为激光经过由边缘部202分隔一定距离以内的一定位置的激光传感器。边缘部感应部7000包括：发出激光的发光部7100及接收由发光部7100发出的激光的受光部7200。此情况，边缘部感应部7000检测边缘部的位置的方式与上述槽口部感应部5000检测槽口部201的方式相同。

根据一实施例，两个槽口部201相互分隔，边缘部202提供于槽口部201之间。与此不同，边缘部202的位置提供于处理对象200的外侧部的另一位置。

在除了槽口部201及槽口部感应部5000之外，提供边缘部202及边缘部感应部7000，从而，能够多重检测处理对象200的位置。因此，能够更稳定精密地检测处理对象200是否处于原位置。

控制部8000控制驱动部2000，以使旋转支撑部件1000而处理对象200的槽口部201处于一定位置。根据一实施例，控制部8000控制驱动部2000，以使在推动部件3000处于第一位置的状态下，旋转支撑部件1000，而使处理对象的槽口部201处于一定位置。根据一实施例，对准装置100还包括：报警部件(未图示)或显示屏部(未图示)。控制部8000对于以通过高度感应部6000而检测处理对象200发生扭曲的现象的情况，控制报警部件以产生报警，或控制显示屏部，以输出报警影像。

根据一实施例，控制部8000对于由槽口部感应部5000及边缘部感应部7000感应槽口部201及边缘部202的位置发生扭曲的情况，在推动部件3000处于第一位置的状态下，旋转支撑部件1000，以使旋转直至将处理对象200处于槽口部201及边缘部202所处的原位置的位置。在旋转支撑部件1000而对准处理对象200时，通过推动部件3000而支撑处理对象200的侧面，从而，更稳定地对准处理对象200。

根据一实施例，槽口部201如图1显示所示，提供为两个的情况，槽口部感应部5000提供使得照射激光，以使更邻接于所有槽口部201的两内侧面中的边缘部202，或照射激光，以与更远离边缘部202的面，控制部8000根据两个槽口部201中的激光无法贯通的槽口部201为任一个而确定上述旋转的方向。

综上具体的说明为例示本发明。并且，上述内容为用于显示本发明的优选的实施例而说明，本发明在各种其它组合、变更及环境中使用。即与在本说明书中公开的发明的概念范围、上述公开内容同等范围及/或本领域技术或知识范围内能够进行变更或修正。上述实施例用于说明实现本发明的技术思想的最优选的状态，能够进行在本发明的具体适用领域及用途要求的各种变更。因此，综上发明的具体说明并非意图通过公开的实施例限定本发明。并且，权利要求范围应当以包括其它实施形式的方式解释。