一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法与流程

文档序号:23472688发布日期:2020-12-29 13:20阅读:106来源:国知局
一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法与流程
本案涉及一种芯片半导体封装的新制作方法,尤其涉及一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体封装的新制作方法。
背景技术
:半导体封装的公知技术为导线架以环氧树脂100封装后,于芯片两端留下外引脚101,方便后续焊接制程,因为制程及应用面的不同,外引脚的形式各有不同,如图1所示。技术实现要素:本发明提供一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,包含:提供含正电极及负电极的晶粒,且提供含薄膜或厚膜双面线路的线路板,双面的该线路板上预留两或多个连接端点,再利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接;以烘烤方式将导电胶连接该晶粒的正电极及负电极与薄膜或厚膜双面线路,以淋膜、涂布、刮刀..等方法,于表面布上整面的绝缘封装材料,并进行绝缘封装材料熟化处理;于该晶粒的外的位置进行切割,即可形成无外引脚的封装结构,即完成单颗小尺寸芯片型半导体的制作;以及依据晶粒设计方式,制作成正向、反向或双向的芯片型半导体元件。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该晶粒具有一上电极一下电极、一上电极二下电极、二上电极一下电极、二下电极、一上电极多下电极或多上电极一下电极…等。本发明提供一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,包含提供含正电极及负电极的晶粒,且提供含薄膜或厚膜双面线路的线路板,双面的该线路板上预留两或多个连接端点,再利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接;利用烘烤方式将导电胶连接该晶粒的正电极及负电极与该薄膜或厚膜双面线路的线路板;以及于上盖板表面涂布一层黏着剂,以连接该上盖板与该晶粒,且以灌注方法,于内部填满绝缘封装材料,并进行绝缘封装材料熟化处理。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该上盖板为陶瓷板(例如:氧化铝板、氮化铝板..等)、塑料板(例如:pe、pp、pc、聚亚酰胺、工程塑料..等)、复合材料板(例如:碳纤板、玻纤板..等)..等,亦可黏贴散热板,以增加散热性能。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中含薄膜或厚膜双面线路的该线路板更包含双面连通设计的阵列式外电极。本发明提供一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,包含:提供含三电极的晶粒,且提供含薄膜或厚膜双面线路的至少二线路板;利用烘烤方式使用导电胶连接该晶粒的三电极与该薄膜或厚膜线路;以及以灌注方式,填充绝缘封装材料,并进行绝缘封装材料熟化处理。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中封装的该贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件具有电流方向一进二出或正向加接地引出、反向加接地引出及双向+接地引出的型式。本发明提供一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,包含:提供含正电极及负电极的晶粒,且提供含薄膜或厚膜双面线路的至少二线路板;利用烘烤方式将导电胶连接该晶粒的正电极及负电极与该薄膜或厚膜线路;以灌注方法,内部填满绝缘封装材料,并进行绝缘封装材料熟化处理;切割后以涂布、沾银、薄膜制程等方式制作单边端电极,使单边端电极与预留电极接点进行连通,即完成单颗小尺寸芯片半导体的制作;以及进行电镀制程以制成单颗smd型半导体芯片元件。本发明提供一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,包含:提供含三电极的晶粒,且提供含薄膜或厚膜双面线路的至少二线路板;利用烘烤方式使用导电胶连接该晶粒的三电极与该薄膜或厚膜线路;以及以灌注方法,于内部填满绝缘封装材料,并进行绝缘封装材料熟化处理;切割后以涂布、沾银、薄膜制程等方式制作两端电极,使两端电极与预留电极接点进行连通,即完成单颗小尺寸三电极芯片半导体的制作;以及进行电镀制程以制成单颗smd型半导体芯片元件。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中含薄膜或厚膜双面线路的该线路板更包含双面连通设计的阵列式外电极,且该线路板单面更具有连通制成的两端水平引出电极,切割后以涂布、沾银、薄膜制程等方式制作两端电极,使两端电极与预留电极接点进行连通。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该芯片的规格包含:芯片类型端电极数量长宽厚备注单颗010052个0.4mm0.2mm0.2mm厚度可微调单颗0201≦3个0.6mm0.3mm0.3mm厚度可微调单颗0402≦3个1.0mm0.5mm0.5mm厚度可微调arraytype0204≥4个1.0mm0.5mm0.3mm厚度可微调arraytype0306≥4个1.6mm0.8mm0.4mm厚度可微调arraytype0405≥4个1.3mm1.0mm0.4mm厚度可微调arraytype0508≥4个2.0mm1.3mm0.5mm厚度可微调arraytype0510≥4个2.5mm1.3mm0.5mm厚度可微调arraytype0612≥4个3.0mm1.5mm0.6mm厚度可微调本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该芯片种类包含tvs二极管、萧特基二极管、开关二极管、齐纳二极管、整流二极管及晶体管...等,但不限于此六种半导体晶粒,举凡半导体晶粒植晶制程皆适用。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该线路板是将薄膜或厚膜线路制作于陶瓷板(例如:氧化铝板、氮化铝板..等)、塑料板(例如:pe、pp、pc、聚亚酰胺、工程塑料..等)及复合材料板(例如:碳纤板、玻纤板..等)..等,亦可印刷于散热板上,以增加散热性能。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该导电胶是各式导电胶(例如:银胶、银钯胶、钯胶、白金胶、铜胶、镍胶、铝胶、锡胶及锡铅胶..等)连接半导体晶粒与印刷线路。可使用无铅导电胶(例如:银胶、银钯胶、钯胶、白金胶、铜胶、镍胶、铝胶及锡胶..等),以取代公知的有铅锡膏,以制作出无铅化半导体封装产品。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该绝缘封装材料是以淋膜、涂布、刮刀、灌注…等方法覆盖该晶粒、导电胶及内部线路板,达到保护晶粒电性及物性特性的功能。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该晶粒依据半导体晶粒设计方式,可制作成正向、反向或双向的芯片型半导体元件,设计方式可为一进一出或一进二出。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该端电极是以电镀制程或采用免电镀即有焊性的端电极材料(例如:ag、au、pd、pt、ag/pd合金、ag/pt合金…等),使该端电极具有焊锡性,以制成贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件。本发明的贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法,其中该薄膜线路板材料是利用薄膜制程制作(例如:溅镀、蒸镀、化镀、黄光、显影、蚀刻..等)。厚膜线路可用印刷方式制作。附图说明图1为现有技术单独使用线路板双面连通设计制作单颗小尺寸芯片型半导体的封装与制作方法的示意图。图2a、2b、2c为本发明一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法的实施例一的示意图。图3a至3c为本发明一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法的实施例二的示意图。图4a至4c为本发明一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法的实施例三的示意图。图5a至5d为本发明一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法的实施例四的示意图。图6a至6d为本发明一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法的实施例五的示意图。图7a为本发明一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法的实施例六的示意图。图8a为本发明一种贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法的实施例七的示意图。符号说明:100环氧树脂101外引脚200线路板201薄膜或厚膜双面线路210半导体晶粒211正电极212负电极221导电胶222导电胶230绝缘封装材料290位置300线路板301薄膜或厚膜线路310半导体晶粒311正电极312负电极321导电胶322导电胶330绝缘封装材料340黏着剂350上盖板390位置400线路板401薄膜或厚膜双面线路402薄膜或厚膜双面线路410半导体晶粒411电极412电极413接地引出421导电胶422导电胶430绝缘封装材料440导电胶450线路板490位置500线路板501薄膜或厚膜单面线路502薄膜或厚膜单面线路521导电胶522导电胶530绝缘封装材料550线路板590位置600线路板601薄膜或厚膜单面线路602薄膜或厚膜单面线路610晶粒611电极612电极613电极621导电胶622导电胶623导电胶630绝缘封装材料650线路板690位置791阵列式外电极792阵列式外电极793阵列式外电极891阵列式外电极892阵列式外电极893阵列式外电极894电极895电极896电极897两端电极898两端电极899两端电极具体实施方式为充分了解本发明的目的、特征及功效,通过下述具体的实施例,并配合所附的图式,对本发明做一详细说明,说明如后:本发明是单独使用线路板双面连通设计或同时使用线路板单面连通设计及线路板双面连通设计进行半导体晶粒与电极的连接,可将线路以薄膜或厚膜印刷..等技术,制作于陶瓷板(例如:氧化铝板、氮化铝板..等)、塑料板(例如:pe、pp、pc、聚亚酰胺、工程塑料..等)、复合材料板(例如:碳纤板、玻纤板..等)..等,线路板单面连通设计则是在单面线路板上预留两或多个连接端点并将电路以水平的方式引出至侧边;线路板双面连通设计为在双面线路板上预留两或多个连接端点,再利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接,内层线路作为内电极与半导体晶粒连结使用,外层线路作为外电极与smt板子连结使用。将两或多个连接端点上点上无铅导电膏(例如:银胶、银钯胶、钯胶、白金胶、铜胶、镍胶、铝胶、锡胶..等),并于导电胶上置放半导体晶粒,点胶与植晶步骤均以ccd方式定位,可将半导体晶粒准确的置放于预留的电极上,连接半导体晶粒与薄膜或厚膜线路,半导体晶粒两或多个电极可与预留内电极接点进行连通,可满足单颗小尺寸半导体晶粒的封装(例如:01005、0201、0402..等小尺寸的半导体晶粒的封装)或阵列型半导体晶粒的封装(例如:0204、0306、0405、0508、0510、0612..等阵列型的芯片半导体晶粒的封装)。以淋膜、涂布、刮刀、灌注..等方法,于表面布上整面的绝缘封装材料,其中淋膜与涂布绝缘封装材料的方式,可于淋膜数次后累积一定的绝缘封装材料厚度,而刮刀与灌注绝缘封装材料的方式,可于刮刀与灌注1~2次后,即可累积一定的绝缘封装材料厚度。进行绝缘封装材料熟化处理后,即可进行切割,若单独使用线路板双面连通设计,切割后即完成的封装产品即制成贴片式单颗小尺寸或阵列型半导体元件。若同时使用线路板单面连通设计及线路板双面连通设计,切割后需再经过涂布、沾银、薄膜制程等方式将线路板单面连通设计的侧边引出的内电极连通至外电极,电镀后即制成贴片式单颗小尺寸或阵列型半导体元件。实施例一:单独使用线路板双面连通设计制作单颗小尺寸芯片型半导体的封装与制作方法:(1)如图2a所示,线路板200上含薄膜或厚膜双面线路201,在双面线路板上预留两或多个连接端点,再利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接,半导体晶粒210含正负两电极211及212,利用烘烤方式将导电胶221与222连接半导体晶粒的正负电极(211与212)及薄膜或厚膜线路(201),以淋膜、涂布、刮刀..等方法,于表面布上整面的绝缘封装材料230,并进行绝缘封装材料熟化处理。(2)其中薄膜线路板材料可利用薄膜制程制作(例如:溅镀、蒸镀、化镀、黄光、显影、蚀刻..等)。厚膜线路可用印刷方式制作。(3)于位置290进行切割,即可形成无外引脚的封装结构,即完成单颗小尺寸(例如:01005、0201、0402..等)芯片型半导体的制作,制成单颗smd型半导体元件,如图2b所示。(4)依据晶粒设计方式,可制作成正向、反向或双向的芯片型半导体元件,如图2c所示。实施例二:单独使用线路板双面连通设计制作含盖板单颗小尺寸芯片型半导体的封装与制作方法:(1)如图3a所示,线路板300上含薄膜或厚膜双面线路301,在双面线路板上预留两或多个连接端点,再利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接,半导体晶粒310含正负两电极311及312,利用烘烤方式将导电胶321与322连接半导体晶粒的正负电极(311与312)及薄膜或厚膜线路(301)。(2)于上盖板350表面涂布一层黏着剂340,以连接上盖板350与晶粒310,上盖板为陶瓷板(例如:氧化铝板、氮化铝板..等)、塑料板(例如:pe、pp、pc、聚亚酰胺、工程塑料..等)、复合材料板(例如:碳纤板、玻纤板..等)..等,亦可黏贴散热板,以增加散热性能。(3)以灌注方法,于内部填满绝缘封装材料330,并进行绝缘封装材料熟化处理。(4)于位置390进行切割,即可形成无外引脚的封装结构。如图3b所示。(5)依据晶粒设计方式,可制作成正向、反向或双向的芯片型半导体元件,如图3c所示。实施例三:单独使用线路板双面连通设计制作单颗小尺寸芯片三电极型半导体的封装与制作方法:(1)如图4a所示,线路板400上含薄膜或厚膜双面线路401,在双面线路板上预留两或多个连接端点,再利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接,线路板450上含薄膜或厚膜双面线路402,在双面线路板上预留一或多个连接端点,再利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接,半导体晶粒410含正负两电极411、412及接地引出413,利用烘烤方式将导电胶421、422及440连接半导体晶粒的三电极(411、412及413)及薄膜或厚膜线路(401、402)。(2)以灌注方法,于内部布上绝缘封装材料430,并进行绝缘封装材料熟化处理。(3)于位置490进行切割,即可形成无外引脚的封装结构。如图4b所示。(4)依据晶粒设计方式,可制作成正向+接地引出、反向+接地引出及双向+接地引出或电流一进二出的芯片型半导体元件,如图4c所示。实施例四:同时使用线路板单面连通设计及线路板双面连通设计制作单颗小尺寸芯片型半导体的封装与制作方法:(1)如图5a所示,线路板500上含薄膜或厚膜双面线路501,在双面线路板上预留两或多个连接端点,再利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接,线路板550上含薄膜或厚膜单面线路502,半导体晶粒510含正负两电极511及512,利用烘烤方式将导电胶521及522连接半导体晶粒的负电极(511及512)及薄膜或厚膜线路(501及502)。(2)以灌注方法,于内部布上整面的绝缘封装材料530,并进行绝缘封装材料熟化处理。(3)于位置590进行切割,即可形成一个无外引脚及一个外引脚的封装结构。如图5b所示。(4)依据晶粒设计方式,可制作成正向、反向或双向的芯片型半导体元件,如图5c所示。(5)以涂布、沾银、薄膜制程等方式将线路板单面连通设计的侧边引出的内电极连通至外电极,电镀后即制成单颗小尺寸(例如:01005、0201、0402..等)芯片型半导体smd型半导体芯片。如图5d所示。实施例五:同时使用线路板单面连通设计及线路板双面连通设计制作单颗小尺寸三电极型半导体的封装与制作方法:(1)如图6a所示,线路板600上含薄膜或厚膜双面线路601,在双面线路板上预留两或多个连接端点,再利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接,线路板650上含薄膜或厚膜单面线路602,半导体晶粒610含三电极611、612及613,利用烘烤方式使用导电胶621、622与623连接半导体晶粒的三电极(611、612与613)及薄膜或厚膜线路(601及602)。(2)以灌注方式,填充绝缘封装材料630,并进行绝缘封装材料熟化处理。(3)于位置690进行切割,即可形成一个无外引脚及二个外引脚的封装结构。如图6b所示。(4)依据晶粒设计方式,可制作成三电极型芯片型半导体元件,如图6c所示。此设计方式具有正向+接地引出、反向+接地引出及双向+接地引出或电流方向一进两出的芯片型半导体元件。(5)以涂布、沾银、薄膜制程等方式制作两端电极,使两端电极与预留电极接点进行连通,即完成单颗小尺寸(例如:01005、0201、0402..等)芯片型半导体的封装。并于电镀制程后,制成单颗smd型半导体元件。如图6d所示。实施例六:单独使用线路板双面连通设计制作阵列型芯片型半导体的封装与制作方法:(1)在双面线路板上内外层阵列多个连接端点,利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接,可制成2x2(791)、2x3(792)、2x4(793)…等等阵列式外电极。(2)以实施例一或二的方式进行封装,即完成阵列型(例如:0204、0306、0405、0508..等)芯片半导体的制作,如图7a所示。实施例七:同时使用线路板单面连通设计及线路板双面连通设计制作阵列型芯片半导体的封装与制作方法:(1)线路板双面连通设计为在双面线路板内外层阵列多个连接端点,利用钻孔和电镀的制程方法将上下两面电路垂直方式连接,可制成2x2(891)、2x3(892)、2x4(893)…等等阵列式外电极。线路板单面连通设计为在单面线路板将内层电路以水平的方式引出至侧边如894、895、896。(2)以实施例五的方式进行封装,切割后以涂布、沾银、薄膜制程等方式制作两端电极,使两端电极与预留电极接点进行连通如897、898、899,并于电镀制程后即完成阵列型(例如:0204、0306、0405、0508..等)的芯片半导体的制作,如图8a所示。综上所述,本发明可提供数种用于贴片式单颗小尺寸及阵列型的芯片半导体元件的封装方法。本发明在上文中已以较佳实施例揭露,然熟习本项技术者应理解的是,该实施例仅用于描绘本发明,而不应解读为限制本发明的范围。应注意的是,举凡与该实施例等效的变化与置换,均应设为涵盖于本发明的范畴内。因此,本发明的保护范围当以申请专利范围所界定者为准。当前第1页12
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