一种Cu2Se薄膜材料的制备方法与流程

文档序号:19812912发布日期:2020-01-31 18:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种cu2se薄膜材料的制备方法,其特征在于:先利用热蒸发法在清洗干净的cu片上沉积一层se薄膜,然后将沉积se薄膜的cu片进行热压退火,得到cu2se薄膜材料。

2.根据权利要求1所述的cu2se薄膜材料的制备方法,其特征在于:将cu片衬底分别用乙醇、丙酮和去离子水超声清洗20~30min,然后用氮气吹干,得到清洗干净的cu片。

3.根据权利要求1所述的cu2se薄膜材料的制备方法,其特征在于:利用热蒸发法在清洗干净的cu片上沉积一层se薄膜的条件为:热蒸发系统真空度为6×10-3~3×10-4pa,沉积的se薄膜的厚度为500nm~4μm。

4.根据权利要求1所述的cu2se薄膜材料的制备方法,其特征在于:所述热压退火的温度为150~300℃、时间为5~30min、压强为2~15mpa。

5.根据权利要求4所述的cu2se薄膜材料的制备方法,其特征在于:所述热压退火的温度为200~280℃、时间为15~20min、压强为8~10mpa。

6.根据权利要求1所述的cu2se薄膜材料的制备方法,其特征在于:所述cu2se薄膜材料与cu片形成cu2se/cu热发电器件。

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