半导体结构与半导体存储器的制作方法

文档序号:20329687发布日期:2020-04-10 16:33阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体结构,其特征在于,包括:

衬底;

隔离结构,形成于所述衬底中,并在所述衬底中界定出多个有源区;

字线沟槽,形成于所述衬底与所述隔离结构上;以及

字线,设于所述字线沟槽中,所述字线穿过所述有源区及所述隔离结构;其中,

在所述字线沟槽的深度方向上,位于所述有源区上的所述字线的高度大于至少部分位于所述隔离结构上的所述字线的高度。

2.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,位于所述有源区上的所述字线沟槽的深度大于至少部分位于所述隔离结构上的所述字线沟槽的深度。

3.根据权利要求2所述的半导体结构,其特征在于,所述隔离结构上的所述字线沟槽的深度小于所述有源区上的所述字线沟槽的深度的区域的高度为28nm~32nm。

4.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,在所述字线沟槽的宽度方向上,位于所述隔离结构上的所述字线的宽度大于位于所述有源区上的所述字线的宽度。

5.根据权利要求4所述的半导体结构,其特征在于,在所述字线沟槽的宽度方向上,位于所述隔离结构上的所述字线的宽度为20nm~35nm。

6.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,至少一个所述有源区设有两条所述字线穿过。

7.根据权利要求2所述的半导体结构,其特征在于,所述字线朝向所述字线沟槽开口的一侧为平面。

8.一种半导体存储器,其特征在于,包括权利要求1~7任一项所述的半导体结构。


技术总结
本公开涉及存储器技术领域,关于一种半导体结构与半导体存储器。该半导体结构包括:衬底、隔离结构、字线沟槽及字线,隔离结构形成于所述衬底中,并在所述衬底中界定出多个有源区;字线沟槽形成于所述衬底与所述隔离结构上;字线设于所述字线沟槽中,所述字线穿过所述有源区及所述隔离结构;其中,在所述字线沟槽的深度方向上,位于所述有源区上的所述字线的高度大于至少部分位于所述隔离结构上的所述字线的高度。本公开提供的半导体结构,能够降低工作状态时有源隔离区域的字线对于相邻有源区域的存储晶体管电性的影响,减少泄露电流。

技术研发人员:李宁;江文涌
受保护的技术使用者:长鑫存储技术有限公司
技术研发日:2019.10.09
技术公布日:2020.04.10
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