IGBT器件结构的制作方法

文档序号:21428506发布日期:2020-07-10 15:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.igbt器件结构,包括半导体衬底、沟槽区、栅氧化层、发射极电极、绝缘介质层、n+发射极区、n型基区、n型场终止区、p型基区、p+深阱区、p型集电极区和集电极,其特征在于,还包括形成于所述半导体衬底正面和所述沟槽区内的复合栅电极,复合栅电极是由平面栅极与沟槽栅极相结合构成。

2.根据权利要求1所述的igbt器件结构,其特征在于,所述复合栅电极包括水平导电沟道和垂直导电沟道,水平导电沟道直接连接到垂直导电沟道,形成电子导通通路,水平导电沟道形成于所述半导体衬底正面,垂直导电沟道形成于所述沟槽区内。

3.根据权利要求1所述的igbt器件结构,其特征在于,所述复合栅电极为仅通过一次导电介质淀积与刻蚀形成的t型结构。

4.根据权利要求1至3任一所述的igbt器件结构,其特征在于,所述p型基区填充所述沟槽区的上半部分,作为平面mos与垂直mos结构的阱区。

5.根据权利要求1至3任一所述的igbt器件结构,其特征在于,所述n+发射极区内形成深度为0.3-0.5um的浅槽。

6.根据权利要求1至3任一所述的igbt器件结构,其特征在于,所述n+发射极区的下方形成所述p+深阱区。


技术总结
本实用新型公开了一种IGBT器件结构,包括半导体衬底、沟槽区、栅氧化层、发射极电极、绝缘介质层、N+发射极区、N型基区、N型场终止区、P型基区、P+深阱区、P型集电极区、集电极以及形成于所述半导体衬底正面和所述沟槽区内的复合栅电极,复合栅电极是由平面栅极与沟槽栅极相结合构成。本实用新型的IGBT器件结构,采用复合栅电极,增大了元胞导通时的沟道长度,也就增大器件导通时的沟道电阻,从而降低了IGBT器件结构的饱和电流,增强了IGBT器件的短路能力;同时也增大了元胞间距,使之获得较低的饱和电流密度,从而进一步增强IGBT器件结构的抗闩锁能力。

技术研发人员:温世达;陶少勇;吕磊;曹新明
受保护的技术使用者:安徽瑞迪微电子有限公司
技术研发日:2019.12.09
技术公布日:2020.07.10
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