金属陶瓷衬底和用于制造金属陶瓷衬底的方法与流程

文档序号:22583037发布日期:2020-10-20 17:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属陶瓷衬底(1),所述金属陶瓷衬底包括:

-具有陶瓷的绝缘层(11),所述绝缘层具有第一厚度(d1);和

-连结在所述绝缘层(11)上的金属化层(12),所述金属化层具有第二厚度(d2),

其中所述第一厚度(d1)小于250μm并且所述第二厚度(d2)大于200μm并且其中所述第一厚度(d1)和所述第二厚度(d2)的尺寸确定为,使得

--所述金属化层(12)的热膨胀系数和所述金属陶瓷衬底(1)的热膨胀系数之间的差值与

--所述金属陶瓷衬底(1)的热膨胀系数的比值具有小于0.25、优选小于0.2并且特别优选小于0.15或甚至小于0.1的值。

2.根据权利要求1所述的金属陶瓷衬底(1),

其中所述第一厚度(d1)大于30μm,优选大于60μm并且特别优选大于90μm。

3.根据上述权利要求中任一项所述的金属陶瓷衬底(1),

其中所述绝缘层(11)在与所述金属化层(12)相对置的那一侧上连结有具有第三厚度(d3)的另外的金属化层(13),其中所述第一厚度(d1)、所述第二厚度(d2)和/或所述第三厚度(d3)的尺寸确定为,使得

-所述另外的金属化层(13)和/或所述金属化层(12)的热膨胀系数和所述金属陶瓷衬底(1)的热膨胀系数之间的差值与

-所述金属陶瓷衬底(1)的热膨胀系数的比值具有小于0.25,优选小于0.2并且特别优选小于0.15或甚至小于0.1的值。

4.根据权利要求3所述的金属陶瓷衬底(1),

其中为了稳定,所述另外的金属化层(13)不具有中断部,尤其不具有绝缘槽。

5.根据上述权利要求中任一项所述的金属陶瓷衬底(1),

其中所述第二厚度(d2)和/或所述第三厚度(d3)大于300μm,优选大于400μm并且特别优选大于500μm。

6.根据上述权利要求中任一项所述的金属陶瓷衬底(1),

其中热膨胀系数与材料特定的参数和/或泊松比相关。

7.根据上述权利要求中任一项所述的金属陶瓷衬底(1),

其中所述第二厚度(d2)和所述第三厚度(d3)基本上一致。

8.根据上述权利要求中任一项所述的金属陶瓷衬底(1),

其中所述另外的金属化层(13)的平行于所述主延伸平面(hse)测量的第三延伸(e3)与所述金属化层(12)的平行于所述主延伸平面(hse)测量的第二延伸(e2)的比值具有1.01和1.4之间的值。

9.一种用于制造金属陶瓷衬底(1)的方法,所述方法包括:

-提供具有第一厚度(d1)的绝缘层(11),所述绝缘层具有陶瓷,其中所述第一厚度(d1)小于300μm;

-提供连结在所述绝缘层(11)上的、具有第二厚度(d2)的金属化层(12),其中所述第二厚度(d2)大于200μm;并且

-将所述金属化层(12)连结于所述绝缘层(11),其中所述第一厚度(d1)和/或所述第二厚度(d2)的尺寸确定为,使得

-所述金属化层(12)的热膨胀系数和所述金属陶瓷衬底(1)的热膨胀系数之间的差值与

-所述金属陶瓷衬底(1)的热膨胀系数的比值具有小于0.25,优选小于0.2,并且特别优选小于0.15或甚至小于0.1的值。

10.根据权利要求9所述的方法,其中将所述金属化层(12)借助于dcb法、dab法或活性焊接法连结于所述绝缘层(11)。

11.根据权利要求9或10所述的方法,

其中将所述金属陶瓷衬底(1)借助于激光刮刻、激光切割或水射流切割来分割。


技术总结
一种金属陶瓷衬底(1),所述金属陶瓷衬底包括:‑具有陶瓷的绝缘层(11),所述绝缘层具有第一厚度(D1);和‑连结在绝缘层(11)上的金属化层(12),所述金属化层具有第二厚度(D2),其中第二厚度(D2)大于250μm并且第一厚度(D1)小于300μm,其中第一厚度(D1)和第二厚度(D2)的尺寸确定为,使得‑‑金属化层(12)的热膨胀系数和金属陶瓷衬底(1)的热膨胀系数之间的差值与‑‑金属陶瓷衬底(1)的热膨胀系数的比值具有小于0.25,优选小于0.2并且,并且特别优选小于0.15或甚至小于0.1的值。

技术研发人员:安德烈亚斯·迈尔;斯特凡·布里廷
受保护的技术使用者:罗杰斯德国有限公司
技术研发日:2019.02.18
技术公布日:2020.10.20
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