一种基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻的制作方法

文档序号:22434401发布日期:2020-10-02 10:23阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻,其特征在于,所述磁电阻包括基片,以及依次形成于基片之上的缓冲层薄膜、[nife/nico]n的多层薄膜和覆盖层薄膜,其中,n≥2。

2.根据权利要求1所述的基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻,其特征在于,所述缓冲层薄膜为ta或cu。

3.根据权利要求1所述的基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻,其特征在于,所述覆盖层薄膜为ta、sio2或al2o3。

4.根据权利要求1所述的基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻,其特征在于,所述[nife/nico]n的多层薄膜的总厚度为20~40nm。

5.一种基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1、采用薄膜溅射工艺在基片上沉积缓冲层薄膜;

步骤2、采用薄膜溅射工艺并在外磁场h的作用下,在步骤1处理后的基片上依次沉积[nife/nico]n的多层薄膜、覆盖层薄膜,其中,n≥2;

步骤3、将步骤2处理后得到的复合结构进行退火处理,退火温度为200~400℃,退火时间为30~120min,退火完成后,即可得到所述各向异性磁电阻。


技术总结
一种基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻,属于磁传感器技术领域。所述磁电阻包括基片,以及依次形成于基片之上的缓冲层薄膜、[NiFe/NiCo]n的多层薄膜和覆盖层薄膜,其中,n≥2。本发明采用[NiFe/NiCo]n的多层薄膜作为磁性层,通过相邻磁性层间界面的自旋相关散射,弥补由于n增大后单层磁性层厚度降低对各向异性磁电阻效应的降低,并且可以根据具体应用的需求,通过重复周期n及各层的厚度灵活调整传感器翻转场、线性区等参数,实现磁各向异性薄膜厚度在降低到20~40nm后仍然兼具小的饱和场与大于2%的各向异性磁电阻变化率。

技术研发人员:唐晓莉;陶仁婧;姜杰
受保护的技术使用者:电子科技大学;上海麦歌恩微电子股份有限公司
技术研发日:2020.06.18
技术公布日:2020.10.02
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1