1.一种基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻,其特征在于,所述磁电阻包括基片,以及依次形成于基片之上的缓冲层薄膜、[nife/nico]n的多层薄膜和覆盖层薄膜,其中,n≥2。
2.根据权利要求1所述的基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻,其特征在于,所述缓冲层薄膜为ta或cu。
3.根据权利要求1所述的基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻,其特征在于,所述覆盖层薄膜为ta、sio2或al2o3。
4.根据权利要求1所述的基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻,其特征在于,所述[nife/nico]n的多层薄膜的总厚度为20~40nm。
5.一种基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、采用薄膜溅射工艺在基片上沉积缓冲层薄膜;
步骤2、采用薄膜溅射工艺并在外磁场h的作用下,在步骤1处理后的基片上依次沉积[nife/nico]n的多层薄膜、覆盖层薄膜,其中,n≥2;
步骤3、将步骤2处理后得到的复合结构进行退火处理,退火温度为200~400℃,退火时间为30~120min,退火完成后,即可得到所述各向异性磁电阻。