一种场效应管制备方法及场效应管与流程

文档序号:23008712发布日期:2020-11-20 12:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种场效应管,其特征在于,包括:

soi衬底;

第一外延层,所述第一衬底层同所述soi衬底连接,所述第一衬底层为n型外延层,所述第一外延层上设置有多个p垂直槽;

第二外延层,所述第二外延层同所述第一外延层连接。

2.根据权利要求1所述的一种场效应管,其特征在于,所述soi衬底片包括:

衬底片,所述衬底片为普通p型衬底片;

隐埋氧化层,所述隐埋氧化层同所述衬底层连接,所述隐埋氧化层通过热氧化形成,采用二氧化硅材质;

顶部硅层,所述顶部硅层同所述隐埋氧化层连接,所述顶部硅层同所述第一外延层连接。

3.根据权利要求2所述的一种场效应管,其特征在于,所述垂直槽为圆形槽。

4.根据权利要求1所述的一种场效应管,其特征在于,所述第二外延层上设置有深沟槽,所述深沟槽的两侧设置有二氧化硅夹层,所述二氧化硅夹层包括二氧化硅层、多晶硅层,所述二氧化硅层同所述多晶硅层连接,所述多晶硅层同另一个所述二氧化硅层连接;所述二氧化硅夹层位于深沟槽的两侧。

5.根据权利要求1所述的一种场效应管,其特征在于,所述第二外延层内置有源区第二类型阱,所述源区第二类型阱内设置有第二类型缓冲区,所述第二类型缓冲区内设置有源区第一类型阱,所述源区第一类型阱同第一类型浓注入区相邻设置,所述第一类型浓注入区同第二类型浓注入区相邻设置。

6.根据权利要求1所述的一种场效应管,其特征在于,所述第二外延层内还设置有漏区第二类缓冲区,所述漏区第二类缓冲区内设置有漏区第一类型阱,所述漏区第一类型阱内设置有漏区第一类缓冲区,所述漏区第一类型缓冲区中设置有漏区第一类浓注入区。

7.根据权利要求1所述的一种场效应管,其特征在于,所述第一类型浓注入区和第二类型浓注入区上设置有薄栅氧,所述第二外延层顶部设置有厚栅氧和场氧,所述厚栅氧和薄栅氧之间设置有沟槽隔离机构,所述厚栅氧设置在所述薄栅氧和场氧之间。

8.根据权利要求1所述的一种场效应管,其特征在于,所述厚栅氧上设置有多晶栅,所述场氧上设置有多晶场板,所述多晶栅和所述多晶场板的一侧设置有内偏移侧墙,所述内偏移侧墙同所述外侧墙连接。

9.根据权利要求1所述的一种场效应管,其特征在于,所述第一类型浓注入区和所述第二类型浓注入区同源引出线连接,所述多晶栅同所述栅引出线连接,所述漏区第一类型浓注入区同漏区引出线连接;

所述第二外延层同所述层间介质层连接,所述层间介质层上设置有铝场板,所述铝场板设置在所述厚栅氧的上方。

10.一种场效应管的制备方法,其特征在于,包括:

在soi衬底上,形成覆盖所述soi衬底的第一外延层,在所述第一外延层上开垂直槽,外延填充,将槽填满;在第一外延层上形成第二外延层。


技术总结
本发明涉及场效应管领域,提供一种场效应管的制备方法及场效应管,用于提高场效应管的耐压性能。本发明提供的一种场效应管,包括:SOI衬底;第一外延层,所述第一衬底层同所述SOI衬底连接,所述第一衬底层为n型外延层,所述第一外延层上设置有多个p垂直槽;第二外延层,所述第二外延层同所述第一外延层连接。可以提高场效应管的耐压性能。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:互升科技(深圳)有限公司
技术研发日:2020.08.06
技术公布日:2020.11.20
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