晶圆吸附装置的制作方法

[0001]
本发明涉及半导体设备技术领域，具体为一种晶圆吸附装置。


背景技术：

[0002]
众所周知，现有的晶圆吸附装置是一种用于半导体设备的辅助装置，其在半导体设备技术领域中得到了广泛的应用。
[0003]
例如公开号为“cn109817560a”专利名称为：“一种防止热传导的晶圆吸附装置”的专利，专利公开了“本发明属于半导体生产制造领域，具体地说是一种防止热传导的晶圆吸附装置，承片台的上表面分别设有内密封环及外密封环，内、外密封环之间形成环形的真空腔，内密封环的内部为常压腔；真空腔内设置有承片凸台，并在真空腔内的承片台上开设有真空孔；常压腔内的承片台上分别开有示教孔及常压腔排气孔；承片台下部的吸盘颈的内孔中设有环状凸台，电机轴由吸盘颈的内孔插入、仅与环状凸台连接，电机轴上开设有电机轴中空孔，真空孔的一端与真空腔相连通，另一端与电机轴中空孔相连通；晶圆放置在承片台上，由承片凸台及内、外密封环支撑，常压腔排气孔的一端与常压腔相连通，另一端与承片台下部的大气相连通。本发明可以有效避免由电机高速旋转带来的晶圆温度变化”。
[0004]
现有的一种防止热传导的晶圆吸附装置，自各真空孔传递而来的真空，使内密封环与外密封环之间形成了环状的真空腔，达到吸附晶圆的目的，为防止真空腔与外界的压力差而导致的晶圆发生形变，在内密封环与外密封环之间设置了多个承片凸台，晶圆与各承片凸台及内、外密封环、接触时，内密封环内部形成常压腔，不具备承片凸台，常压腔隔绝了与承片台与晶圆之间的接触，从而切断热传导的通道，常压腔的上下压力相等，晶圆不会发生形变，而常压腔排气孔的作用，是为了防止当放置或取走晶圆时，因常压腔部分密闭而产生的晶圆漂移或者黏连情况，现有的一种防止热传导的晶圆吸附装置在使用中发现，其无法了解晶圆是否被吸附紧密，在进行排气时无法充分的将吸盘内的空气排干净，导致其使用局限性较高。


技术实现要素：

[0005]
(一)解决的技术问题
[0006]
针对现有技术的不足，本发明设计两种方案实现对晶圆的吸附稳定，方案一采用简单的机械运动将密封圈通过安装腔固定在吸盘下方上的固定环上，利用吸盘吸附晶圆，按压排出部分空气之后，利用把手将螺栓旋至下方，螺栓下方设圆柱对吸盘内的密封罩上的挤压槽挤压，密封罩下压将吸盘内的空气排出，装置通过简单的机械运动使吸盘对晶圆起到吸附作用，作为辅助密封罩下固定有环状凸缘，环状凸缘在接触到晶圆后会对晶圆造成二次吸附，方案二采用电气元件吸附，装置上设置有真空泵可以进一步的将吸盘上的空气排空，防止装置在移动过程中，因为震动或者其他使用问题，使吸盘中的空气有所填充，导致晶圆从吸盘上掉落，同时在真空泵与吸盘连接处设置有连接管和保护网，在保护网中装有保护垫，使装置在使用时对保证吸附力度的同时保证对晶圆的安全性，装置通过一些
电气元件使装置在进行使用时保证对晶圆的定位准确，提供了一种结构简单，经济实用，对晶圆具有保护系统的晶圆吸附装置。
[0007]
(二)技术方案
[0008]
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：晶圆吸附装置，包括吸盘、密封圈、固定环和环形槽，所述吸盘上固定有固定环，所述密封圈内部设置有安装腔，所述安装腔与所述固定环相匹配，所述密封圈下方设置有环形槽，所述吸盘内固定有密封罩，所述密封罩下方与所述固定环连接，所述密封罩上方固定有挤压槽，所述吸盘上设置有螺栓，所述密封罩上设置有定位槽，所述定位槽设置在所述挤压槽周侧，所述定位槽内固定有定位器，所述螺栓贯穿所述吸盘。
[0009]
为了方便使环形槽能对晶圆具有较大的吸附力，本发明改进有，所述环形槽上方小下方大呈梯形。
[0010]
为了方便利用螺栓升降来排空吸盘内的空气，本发明改进有，所述螺栓另一端固定有把手。
[0011]
为了方便把手被夹持，本发明改进有，所述把手周侧呈正多边形。
[0012]
为了方便对挤压槽进行挤压，本发明改进有，所述螺栓下方设置为圆柱，所述圆柱与所述螺栓连接，所述圆柱与所述挤压槽相匹配。
[0013]
为了方便进一步的使吸盘吸附晶圆，本发明改进有，所述密封罩内设置有环状凸缘。
[0014]
为了方便吸附稳定，本发明改进有，所述环状凸缘设置为多组。
[0015]
为了了解装置对晶圆的吸附力大小，本发明改进有，所述密封圈内设置固定有压力传感器。
[0016]
为了方便了解装置吸附晶圆吸盘边缘吸力是否均匀，本发明改进有，所述压力传感器设置为多组，所述压力传感器均匀的布置在所述密封圈内，所述压力传感器设置在所述安装腔与所述环形槽之间。
[0017]
为了方便提醒使用者装置吸附不紧密，本发明改进有，所述警示器包括指示灯和蜂鸣器，所述指示灯设置在所述蜂鸣器周侧。
[0018]
为了防止真空泵在吸附时破坏装置，本发明改进有，所述保护网中填充有保护垫。
[0019]
(三)有益效果
[0020]
与现有技术相比，本发明提供了晶圆吸附装置，具备以下有益效果：
[0021]
该晶圆吸附装置，装置结构简单，生产制造方便，通过将密封圈通过安装腔固定在吸盘下方上的固定环上，利用吸盘吸附晶圆，通过机械按压排出部分空气之后，利用把手将螺栓旋至下方，通过螺栓向下移动，螺栓下方设置有定位槽，防止在挤压密封罩时造成损害，通过定位槽限制使装置在使用时定位更加准确，螺栓下方设圆柱对吸盘内的密封罩上的挤压槽挤压，密封罩下压将吸盘内的空气排出，密封罩下固定有环状凸缘，环状凸缘在接触到晶圆后会对晶圆造成二次吸附，通过借助定位器和压力传感器可以更好的实现对晶圆的吸附，通过真空泵可以使吸盘牢固的将晶圆吸附，压力传感器将信息传递给控制器，显示屏上显示那个位置没有吸附牢靠，同时警示器报警，装置上设置有真空泵可以进一步的将吸盘上的空气排空，真空泵的作用使装置对晶圆进行三次吸附，防止装置在移动过程中，因为震动或者其他使用问题，使吸盘中的空气有所填充，导致晶圆从吸盘上掉落，同时在真空
泵与吸盘连接处设置有连接管和保护网，在保护网中装有密封垫，使装置在使用时对保证吸附力度的同时保证对晶圆的安全性。
附图说明
[0022]
图1为本发明结构示意图；
[0023]
图2为本发明图1中a处的局部放大结构示意图；
[0024]
图3为本发明图1中b处的局部放大结构示意图；
[0025]
图4为本发明结构仰视图；
[0026]
图5为本发明结构俯视图。
[0027]
图中：1、吸盘；2、密封圈；3、固定环；4、环形槽；5、安装腔；6、密封罩；7、挤压槽；8、螺栓；9、定位槽；10、定位器；11、把手；12、环状凸缘；13、压力传感器；14、圆柱；15、控制器；16、显示屏；17、警示器；18、指示灯；19、蜂鸣器；20、真空泵；21、连接管；22、保护网；23、保护垫。
具体实施方式
[0028]
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0029]
请参阅图1-5，晶圆吸附装置，包括吸盘1、密封圈2、固定环3和环形槽4，所述吸盘1上固定有固定环3，所述密封圈2内部设置有安装腔5，所述安装腔5与所述固定环3相匹配，所述密封圈2下方设置有环形槽4，所述吸盘1内固定有密封罩6，所述密封罩6下方与所述固定环3连接，所述密封罩6上方固定有挤压槽7，所述吸盘1上设置有螺栓8，所述密封罩6上设置有定位槽9，所述定位槽9设置在所述挤压槽7周侧，所述定位槽9内固定有定位器10，所述螺栓8贯穿所述吸盘1。
[0030]
所述环形槽4上方小下方大呈梯形，为了方便使环形槽4能对晶圆具有较大的吸附力。
[0031]
所述螺栓8另一端固定有把手11，为了方便利用螺栓8升降来排空吸盘1内的空气。
[0032]
所述把手11周侧呈正多边形，为了方便把手11被夹持。
[0033]
所述螺栓8下方设置为圆柱14，所述圆柱14与所述螺栓8连接，所述圆柱14与所述挤压槽7相匹配，为了方便对挤压槽7进行挤压。
[0034]
所述密封罩6内设置有环状凸缘12，为了方便进一步的使吸盘1吸附晶圆。
[0035]
所述环状凸缘12设置为多组，为了方便吸附稳定。
[0036]
所述密封圈2内设置固定有压力传感器13，为了了解装置对晶圆的吸附力大小。
[0037]
所述压力传感器13设置为多组，所述压力传感器13均匀的布置在所述密封圈2内，所述压力传感器13设置在所述安装腔5与所述环形槽4之间，为了方便了解装置吸附晶圆吸盘1边缘吸力是否均匀。
[0038]
所述警示器17包括指示灯18和蜂鸣器19，所述指示灯18设置在所述蜂鸣器19周侧，为了方便提醒使用者装置吸附不紧密。
[0039]
所述保护网22中填充有保护垫23，为了防止真空泵20在吸附时破坏装置。
[0040]
综上所述，该晶圆吸附装置，在使用时，将密封圈2通过安装腔5固定在吸盘1下方上的固定环3上，利用吸盘1吸附晶圆，按压排出部分空气之后，利用把手11将螺栓8旋至下方，螺栓8下方设圆柱14对吸盘1内的密封罩6上的挤压槽7挤压，密封罩6下压将吸盘1内的空气排出，装置通过简单的机械运动使吸盘1对晶圆起到吸附作用，密封罩6下固定有环状凸缘12，环状凸缘12在接触到晶圆后会对晶圆造成二次吸附，通过借助定位器10和压力传感器13可以更好的实现对晶圆的吸附，通过真空泵20可以使吸盘1牢固的将晶圆吸附，压力传感器13将信息传递给控制器15，显示屏16上显示哪个位置没有吸附牢靠，同时警示器17报警，装置上设置有真空泵20可以进一步的将吸盘1上的空气排空，防止装置在移动过程中，因为震动或者其他使用问题，使吸盘1中的空气有所填充，导致晶圆从吸盘1上掉落，同时在真空泵20与吸盘1连接处设置有连接管21和保护网22，在保护网22中装有保护垫23，使装置在使用时对保证吸附力度的同时保证对晶圆的安全性，装置通过一些电气元件使装置在进行使用时保证对晶圆的定位准确，通过压力传感器13和控制器15上的显示屏16配合，更好、更智能的将晶圆进行吸附，同时方便了解没有固定的晶圆位置，装置配合真空泵20，方便进一步的对晶圆吸附，采用此装置对晶圆可以进行三重吸附。
[0041]
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。